[发明专利]激光诱致热成像用膜的去除装置有效

专利信息
申请号: 201110176825.5 申请日: 2011-06-28
公开(公告)号: CN102332537A 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 金相午;黄成在;尹小辉;崔东奎 申请(专利权)人: AP系统股份有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人: 张颖玲;迟姗
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 激光 诱致 成像 去除 装置
【权利要求书】:

1.一种激光诱致热成像用膜的去除装置,其特征在于,包括:

基板台,所述基板台上设置有基板;

辊单元,用于压制设置于所述基板台的供体薄膜;以及

吸气单元,设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除。

2.根据权利要求1的所述装置,其特征在于,所述吸气单元包括:穿过所述基板台的多个吸气管、与所述吸气管连通的集气管、与所述集气管连通的排气管、以及与所述排气管连通以抽吸空气的排气泵。

3.根据权利要求2的所述装置,其特征在于,所述吸气管围绕所述基板设置。

4.根据权利要求3的所述装置,其特征在于,所述吸气单元根据所述辊单元的位置相继抽吸空气。

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