[发明专利]激光诱致热成像用膜的去除装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging，LITI)用膜的去除装置，尤其涉及一种用于稳定去除设置于基板的激光诱致热成像(LITI)用膜的装置。

背景技术

平板显示器中的有机电致发光显示器具有的优点在于，无论尺寸如何，其均可作为运动图像的显示介质；这是因为其响应时间不超过1毫秒、功耗低，并且由于能够自发光而具有出色的视角。此外，基于现有的半导体处理技术，能够利用简单的工艺在低温条件下制造有机电致发光显示器，因此，其作为下一代平板显示器颇具吸引力。

根据使用的材料和工艺，一般可以将有机电致发光显示器分为采用湿法的聚合物型显示器和采用沉积法的低分子量型显示器。

但是，在聚合物或低分子量发光层所采用的成图法中，喷墨打印法具有的缺点在于，除发光层之外的有机层所采用的材料有限，并且喷墨打印所采用的结构必须形成在基板上。此外，采用沉积法对发光层成图时，由于金属掩膜的影响，难以制造大型显示装置。

激光诱致热成像(LITI)法，作为这种成图法的可代替技术，最近才发展起来。

LITI法是将光源发出的激光转变成热能，热能依次将成图材料转移至靶基板，从而形成图形。

在LITI法中，供体薄膜覆盖作为受体的整个基板，并且供体薄膜和基板固定于平台上。此外，供体薄膜与基板通过层压处理进一步相互结合，然后再进行激光成像，从而形成图形。

应当注意的是上述内容仅用于理解背景技术，并非说明本领域的公知技术。

通常，从基板上去除供体薄膜时，会不可控地引入空气，从而导致供体薄膜起皱并且损坏基板上已成像部分。因此，需要解决这个问题。

发明内容

本发明内容的一个方面在于提供一种根据辊子位置朝供体薄膜相继喷射空气从而将激光诱致热成像用膜从基板上稳定地去除并同时调节空气引入的装置，从而防止了因不必要的空气泄漏导致基板上出现缺陷。

根据本发明的一个方面，一种激光诱致热成像用膜的去除装置，包括：基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除。

所述吸气单元可以包括：穿过所述基板台的多个吸气管、与所述吸气管连通的集气管、与所述集气管连通的排气管、以及与所述排气管连通以抽吸空气的排气泵。

所述吸气管可以围绕所述基板设置。

所述吸气单元可以根据所述辊单元的位置相继抽吸空气。

附图说明

通过下文并结合附图对实施例的说明，本发明的上述及其它方面、特征和优点将显而易见。其中：

图1为根据本发明的示例性实施例的一种激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的示意图；

图2为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气单元示意图；

图3为根据本发明的示例性实施例的所述激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的基板台示意图，其中设置有基板和供体薄膜；以及

图4为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气管排列示意图。

具体实施方式

下面将结合附图详细描述本发明的实施例。应当注意的是附图并未按照精确比例绘制，为方便描述和清楚起见，线条厚度或组件尺寸可能被放大。此外，文中定义的术语考虑了本发明的功能，并可以根据使用人员和操作人员的习惯或意图予以改变。因此，应根据本文所述的整个公开内容来确定术语的含义。

图1为根据本发明的示例性实施例的一种激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的示意图；图2为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气单元示意图；图3为根据本发明的示例性实施例的所述激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的基板台示意图，其中设置有基板和供体薄膜；图4为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气管排列示意图。

由图1-图4可知，根据本发明的实施例的所述装置1包括基板台10、辊单元20以及吸气单元50。

基板台10具有凹部，该凹部内设置有基板11和供体薄膜件12。

基板台10横向移动，可以通过轮、导轨、长度可变的气缸或其它各种结构来移动基板台10。

将激光束照射到供体薄膜件12时，供体薄膜件12的光热转换层将该激光束转变成热能，从而在散热时膨胀。因此，有机层，即转换层，也会膨胀，并与供体薄膜件12分离，从而在基板11上形成有机层。这里，成图材料根据激光的照射方向附着至基板11。