[发明专利]树脂介电层及其材料的制备方法、液晶面板及显示器件无效
申请号: | 201110179460.1 | 申请日: | 2011-06-29 |
公开(公告)号: | CN102629077A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 郭建;闵泰烨;陈旭;谢振宇;张文余 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/038;H01L21/312;G02F1/1362;G03F7/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 介电层 及其 材料 制备 方法 液晶面板 显示 器件 | ||
技术领域
本发明涉及制造技术领域,尤其涉及一种树脂介电层及其材料的制备方法、液晶面板及显示器件。
背景技术
在半导体制造过程中,通常需要经过多次沉积工艺以形成不同的膜层。例如,涉及半导体制造过程的印刷电路板的制造过程、以及薄膜晶体管液晶显示器的液晶面板的制造过程等,均需要经过多次的沉积工艺。
以液晶面板为例而言,薄膜晶体管液晶显示器的液晶面板包括阵列基板和彩膜基板,在薄膜晶体管液晶显示器的制程中可以分别单独制作阵列基板和彩膜基板,然后再将阵列基板和彩膜基板对盒并填充液晶,以形成液晶面板。其中,在阵列基板的制造过程中,可以通过多次构图工艺(构图工艺中包括沉积工艺),在空白基板上依次形成栅线、薄膜晶体管的栅极;栅绝缘层;垂直于所述栅线的数据线,以及薄膜晶体管的有源层、源极、漏极和沟道;钝化层;像素电极;等。其中,所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域,所述薄膜晶体管和像素电极形成在所述像素区域内,所述薄膜晶体管的栅极与所述栅线连接、源极与所述数据线连接、漏极与所述像素电极连接。
但是目前像素电极所在的层和数据线所在的层之间仅设有一层用于绝缘的钝化层,该钝化层通常由SiNx等材料制成,其介电常数较高,因此使得在像素电极和数据线之间产生较强的电容效应,该较强的电容效应容易在像素电极和数据线之间引发不良。类似地,在其他产品的不同膜层之间,通常也会由于该不同膜层之间的膜层的介电常数较高而引发各种不良。
发明内容
本发明的实施例提供一种树脂介电层及其材料的制备方法、液晶面板及显示器件,以提高降低的介电常数。
为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:
一种树脂介电层材料的制备方法,包括:
步骤11,合成单体树脂;
步骤12,将合成的单体树脂添加到有机溶剂中,搅拌使合成的单体树脂在有机溶剂中溶解,以制得树脂介电层材料。
一种树脂介电层的制备方法,包括:
步骤21,在基板上涂覆如上所述的方法制备的树脂介电层材料,形成树脂介电层薄膜;
步骤22,对树脂介电层薄膜进行热固化,形成树脂介电层。
一种液晶面板,包括对盒的阵列基板和彩膜基板,所述阵列基板包括基板,所述基板上设有栅线,垂直于所述栅线设有数据线,所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域,所述像素区域内设有薄膜晶体管和像素电极,所述薄膜晶体管的栅极与所述栅线连接、源极与所述数据线连接、漏极与所述像素电极连接,所述像素电极所在的层与所述数据线所在的层之间设有树脂介电层,所述树脂介电层由如上所述的方法制备的树脂介电层材料制成。
一种液晶显示器件,包括壳体,所述壳体内设有液晶面板,所述液晶面板包括对盒的阵列基板和彩膜基板,所述阵列基板包括基板,所述基板上设有栅线,垂直于所述栅线设有数据线,所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域,所述像素区域内设有薄膜晶体管和像素电极,所述薄膜晶体管的栅极与所述栅线连接、源极与所述数据线连接、漏极与所述像素电极连接,所述像素电极所在的层与所述数据线所在的层之间设有树脂介电层,所述树脂介电层由如上所述的方法制备的树脂介电层材料制成。
本发明实施例提供的树脂介电层及其材料的制备方法、液晶面板及显示器件,由于树脂本身的介电常数较低,因此能够在不同的膜层之间提供降低的介电常数,并进而可以减少由于不同膜层之间的膜层的介电常数较高而引发各种不良。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例树脂介电层材料制备方法的示意图;
图2为本发明实施例树脂介电层制备方法的示意图;
图3为本发明实施例液晶面板中阵列基板的示意图;
图3a为图3中A3-A3方向的截面图。
附图标记:
1-基板,2-栅线,5-数据线,7-树脂介电层,8-像素电极,10-公共电极,11-薄膜晶体管,11a-栅极、11b-源极、11c-漏极。
具体实施方式
下面结合附图对本发明实施例树脂介电层及其材料的制备方法、液晶面板及显示器件进行详细描述。
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