[发明专利]压力测定器无效
| 申请号： | 201110181429.1 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102374912A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;住吉雄一朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力 测定 | ||
【权利要求书】：
1.一种压力测定器，其特征在于，具备：
挠性膜，该挠性膜承受压力；
台座，该台座固定上述挠性膜，并且设有底面为圆形的凸部；以及
固定部件，该固定部件与上述凸部的圆形的底面接合。
2.根据权利要求1所述的压力测定器，其特征在于，
上述台座由玻璃构成，上述固定部件由金属构成。
3.根据权利要求1或2所述的压力测定器，其特征在于，
上述台座隔着硅基板固定上述挠性膜。
4.根据权利要求3所述的压力测定器，其特征在于，
在上述硅基板上设置有被上述挠性膜覆盖的凹部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的压力测定器，其特征在于，
上述挠性膜由硅构成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的压力测定器，其特征在于，
在上述挠性膜与上述台座之间设置有封闭空间。
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