[发明专利]铸锭多晶硅硅片头尾排序的标识方法

权利要求书

1.一种铸锭多晶硅硅片头尾排序的标识方法，其特征在于包括以下步骤：

1)检测：将开方后的铸锭多晶硅晶棒进行红外和少子寿命检测；

2)截断：综合红外和少子寿命检测结果确定截断位置，进行截断加工；

3)标识：利用激光在截断后晶棒的表面上进行画线标识；

4)磨面：将标识后的晶棒进行磨面抛光；

5)倒角：将磨面后的晶棒进行倒角；

6)粘棒：将倒角后的晶棒通过固化胶粘贴在晶托上；

7)切片：将上述晶棒固化一段时间后送入机台进行切片。

2.如权利要求1所述的铸锭多晶硅硅片头尾排序的标识方法，其特征在于： 所述的步骤3)中的标识方法为：任意选择晶棒一个表面，从头部或尾部一个角 的顶点出发向其对边画线，所述的画线与对边的交点不大于整个边长的1/2，画 线深度不小于5μm，画线条数不小于2条。

3.如权利要求1所述的铸锭多晶硅硅片头尾排序的标识方法，其特征在于： 所述的步骤6)中胶粘面为非标识面。