[发明专利]光波导路的制造方法

权利要求书

1.一种光波导路的制造方法，其具有如下所述的工序：在将芯图案形成于下敷层的表面之后，使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层，该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面，该光波导路的制造方法的特征在于，

使用下述(A)的成形模来作为上述成形模，上敷层的形成是这样进行的：向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将上述芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层；

(A)是如下这种带有透光性支承板且由透光性树脂制成的成形模，即，将形状与上敷层的形状相同的上述模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂，使上述透光性支承板与该透光性树脂的表面接触，在此状态下，使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上之后，从上述容器中将硬化后上述透光性树脂与上述模具构件、上述透光性支承板一起取出，以使上述模具构件脱离而获得成形模的上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部。

2.根据权利要求1所述的光波导路的制造方法，其中，

上述透光性支承板是石英玻璃板。

3.根据权利要求1或者2所述的光波导路的制造方法，其中，

上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的光波导路的制造方法，其中，

作为上述成形模的形成材料的透光性树脂含有硅树脂。