[发明专利]用于制造减振的构件的方法

权利要求书

1.用于制造具有微米或纳米结构化的结构元件（2）的构件的方法，该方法包括以下步骤：

-提供具有至少一个刚性的内部区域（1a）、至少一个柔性的区域（1b）和至少一个刚性的外部区域（1c）的基片，其中所述刚性的内部区域（1a）被所述柔性的区域（1b）所包围并且所述柔性的区域（1b）被所述刚性的外部区域（1c）所包围；

-将至少一个微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）施加到所述刚性的内部区域（1a）上；

-使所述微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）与所述刚性的内部区域（1a）并且/或者与所述刚性的外部区域（1c）进行电气接触，并且

-将减振物质（3）施加到所述微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）上。

2.按权利要求1所述的方法，其特征在于，所述减振物质（3）是凝胶、泡沫、粒料、弹性体或者这些材料的组合尤其是凝胶。

3.按权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述减振物质（3）额外地部分或者完全覆盖着所述柔性的区域（1b）。

4.按权利要求1到3中任一项所述的方法，其特征在于，将所述减振物质（3）如此施加到所述微米或纳米结构化的第一结构元件（2）上，使得所述减振物质（3）覆盖着所述微米或纳米结构化的第一结构元件（2）并且必要时覆盖着所述刚性的内部区域（1a）的与所述微米或纳米结构化的第一结构元件（2）邻接的部分区域和所述柔性的区域（1b）以及所述刚性的外部区域（1c）的将所述柔性的区域（1b）包围的部分区域。

5.按权利要求1到4中任一项所述的方法，其特征在于，在施加所述减振物质（3）时使用确定减振物质（3）的形状的成形件（4），其中所述成形件（4）

-是构造在所述刚性的外部区域（1c）上的成形结构（17a、17b）尤其是框架结构（17b）或者流止结构（17a），或者

-是尤其能够加热的模板（4），该模板（4）在施加所述减振物质（3）之前施加到所述刚性的外部区域（1c）上并且在施加所述减振物质（3）之后又被移走。

6.按权利要求1到5中任一项所述的方法，其特征在于，此外所述方法包括将包裹物质（6）施加所述减振物质（3）上这个方法步骤。

7.按权利要求1到6中任一项所述的方法，其特征在于，提供具有多个刚性的内部区域（1a）、柔性的区域（1b）和刚性的外部区域（1c）的基片，其中一个刚性的内部区域（1a）相应地被一个柔性的区域（1b）所包围并且这个柔性的区域（1b）又被一个刚性的外部区域（1c）所包围，其中相应地将至少一个微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）施加到所述刚性的内部区域（1a）上，其中使所述微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）分别与一个刚性的内部区域（1a）并且/或者与一个刚性的外部区域（1c）进行电气接触；其中在所述微米或者纳米结构化的第一结构元件（2）上施加减振物质（3），其中必要时将包裹物质（6）施加到所述减振物质（3）上；并且将所述基片分割。

8.构件，尤其机电的构件，包括

-基片，该基片具有至少一个刚性的内部区域（1a）、至少一个柔性的区域（1b）和至少一个刚性的外部区域（1c），其中所述刚性的内部区域（1a）被所述柔性的区域（1b）所包围并且所述柔性的区域（1b）被所述刚性的外部区域（1c）所包围，

-至少一个微米或纳米结构化的第一结构元件（2），其中所述微米或纳米结构化的第一结构元件（2）布置在所述刚性的内部区域（1a）上并且与所述刚性的内部区域（1a）和/或所述刚性的外部区域（1c）电气接触，以及

-减振物质（3），其中该减振物质（3）覆盖着所述微米或纳米结构化的第一结构元件（2）。

9.按权利要求8所述的构件，其特征在于，所述减振物质（3）是凝胶、泡沫、粒料、弹性体或者这些材料的组合尤其是凝胶。

10.按权利要求8或9所述的构件，其特征在于，所述减振物质（3）额外地部分或者完全覆盖着所述柔性的区域（1b）。