[发明专利]用于制造减振的构件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于制造具有至少一个微米或者纳米结构化的第一结构元件的构件的方法以及一种这样的构件。

背景技术

通常将微机械的传感器包装在壳体中。在此在具有接触脚的壳体所谓的“有引线的（leaded）”壳体与具有接触面的壳体所谓的“无引线（leadless）”壳体之间进行区分。尤其将微机械的传感器装入到预制的注塑的基础壳体所谓的预成型（Premold）壳体中，随后用盖子将该预成型壳体封闭。

根据安装地点，微机械的传感器会经受不同的负荷。尤其微机械的传感器比如控制仪中的ESP传感器会经受振动负荷。

一种防止传感器受到这些振动的方案是将传感器安置在金属板上，该金属板则支承在胶体层上。另一种方案在公开文献DE 10 2005 041 577中得到描述，在该公开文献中通过布线元件来减弱违反本意的外部振动。

发明内容

本发明的主题是，提供一种用于制造具有微米或者纳米结构化的结构元件的构件的方法，该方法包括以下步骤：

-提供具有至少一个刚性的内部区域、至少一个柔性的区域和至少一个刚性的外部区域的基片，其中所述刚性的内部区域被所述柔性的区域所包围并且所述柔性的区域被所述刚性的外部区域所包围；

-将至少一个微米或者纳米结构化的第一结构元件施加到所述刚性的内部区域上；

-使所述微米或者纳米结构化的第一结构元件与所述刚性的内部区域并且/或者与所述刚性的外部区域进行电气接触，并且

-将减振物质施加到所述微米或者纳米结构化的第一结构元件上。

在此，“柔性的区域”这个概念尤其是指在相同的力的作用下比所述“刚性的内部区域”和所述“刚性的外部区域”更有弹性和/或更能够膨胀和/或更能够变形的区域。比如所述“柔性的区域”在相同的力的作用下比所述“刚性的内部区域”和所述“刚性的外部区域”的弹性和/或能够膨胀性和/或能够变形性大了因数五尤其十。

减振物质在本发明的意义上尤其是指一种物质，该物质可以吸收机械能尤其振动能量并且将其转换为内部能量比如摩擦。

本发明的意义上的微米或者纳米结构化的结构元件尤其可以是指具有内部的处于≥1nm到≤100μm的范围内的结构尺寸的结构元件。所述内部的结构尺寸在此是指结构元件内部的结构比如小坑、接片或者印制导线的尺寸。这样的结构元件用在微系统技术中或者用在微机电的系统中。

“电气接触”在本发明的范围内不仅可以是指直接的接触而且可以是指间接的接触。比如，一个结构元件与一个区域之间的直接的电气接触可以借助于处于所述结构元件上的电气触点和处于所述区域中的电气触点来进行，其中所述结构元件的电气触点与所述区域的电气触点相接触或者说相碰。一个结构元件与一个区域之间的间接的电气接触比如可以通过以下方式来进行，即所述结构元件的电气触点通过至少另一个元件比如另一个结构元件、电导体比如印制导线或者导线或者导电的材料比如导电的胶粘剂与所述区域的电气触点相连接。

通过所述按本发明的方法可以有利地制造具有减振的微米或纳米结构化的结构元件的构件。通过减振物质的使用，在此-与空气减振或弹簧减振相比-可以明显地改进减振效果。此外，可以有利地通过减振物质的材料的选择来个别地对减振情况进行调整。此外，一个特殊的优点在于，通过所述按本发明的构造可以沿所有的空间方向获得减振作用。这又允许实际上在每个使用地点使用这样的构件。除此以外，这样的构件可以具有比传统的具有胶体支承的金属板的构件小的尺寸大小。此外，所述按本发明的方法可以有利地以低廉的成本和较少数目的过程步骤来实施。

在所述方法的一种实施方式的范围内，所述减振物质是凝胶、泡沫材料、粒料、弹性体或者这些材料的组合。比如所述减振物质可以是泡沫材料，该泡沫材料基于塑料，所述塑料则从由聚丙烯、聚乙烯、聚乙烯对苯二酸酯、聚氨酯及这些材料的组合构成的材料组中选出。尤其所述泡沫材料可以（在现场）在涂覆时并且/或者在涂覆之后构成。因此，可以有利地获得形状配合的连接。但是同样可以这样安排，即所述泡沫材料在施加到所述微米或者纳米结构化的结构元件上之前构成。

但是，所述减振物质也可以是粒料。比如所述减振物质可以是沙子或者粉末状的材料。因为粒料大多数具有较高的密度，所以在将粒料用作减振物质时所述粒料可以有利地额外地用作坯料（Masse）并且改进振动及减振性能。