[发明专利]积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备

权利要求书

1.一种积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，包括卷室放、收卷室和积木式真空室，其特征是真空室分别为离子源轰击清洗室、独立气体隔离室、真空溅射室、中频溅射室和检测室，每个积木式真空室均有独立的真空系统，卷室放的一端与第一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接，收卷室与最后一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接。

2.根据权利要求1所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是积木式真空室有十三个，第一个和第二个真空室为离子源轰击清洗室，第三个和第十个真空室为独立气体隔离室，第四个到第九个真空室为真空溅射室，每个真空溅射室中都装有两个直流溅射靶，第十一个和第十二个真空室为中频溅射室，每个中频溅射室中都装有两个中频溅射靶，第十三个真空室为检测室。

3.根据权利要求1或2所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是积木式真空室由真空室体和密封盖组成，真空室体和密封盖通过铰链连接；真空室体的上面有开口，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗、连接螺栓孔和用于安装密封圈的密封槽，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体。

4.根据权利要求3所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是真空室体侧面还安装有托辊。

5.根据权利要求3所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是真空室体侧面还安装有行进窗调整块。

6.根据权利要求3所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是密封盖有密封圈。

7.根据权利要求3所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是密封盖有密封件。

8.根据权利要求3所述的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，其特征是密封盖有观察窗。