[发明专利]积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜设备，特别是一种在金属（铜或铝）卷绕条带上连续镀制太阳能选择性吸收涂层，应用于太阳能平板式集热器上的积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备。

背景技术

为了节约能源、保护环境、提高人民生活水平，我国太阳热水器产业在近十多年内迅猛发展。太阳热水器生产量和销售量都飞速增长。如今，我国已成为世界上太阳热水器的生产和销售大国，年销售量和总保有量都居世界第一位。我国太阳热水器种类甚多，有真空管热水器、平板型热水器、闷晒型热水器等几大类，以真空管热水器为主。但真空管太阳能热水器存在易爆管、维修不方便，与建筑结合存在不美观等缺陷。而在国外，大多采用平板型热水器。我国一些大型太阳能热水工程也多采用平板型太阳能集热器，但所使用的金属条带太阳能吸收膜主要靠进口。由于平板型太阳能热水器采用金属板材作吸热核心元器件，具有坚固耐用等优点，能与建筑完美结合，克服了真空管太阳能热水器在安装、维护及使用寿命，与建筑结合等不足之处。

太阳能平板型热水器采用的是平板金属条带作为核心吸热元件，因此，集热板表面的选择性吸附涂层的镀制质量与性能以及耐气候性，是决定整个太阳能热水设备的关键技术，而金属条带连续卷绕设备则是制备金属条带选择性吸附涂层的关键设备。

国内目前使用的是阳极氧化（电镀）技术生产太阳能平板集热器，该技术损害环境，有电镀污水，已被限制生产同时产品质量低劣，发射率极高；另外还有采用喷涂技术生产太阳能平板集热器，该技术生产的产品质量更差，吸收率低，发射率更高。采用真空磁控溅射技术镀制太阳能平板集热器的也是一些单室小型设备，产品质量也极不稳定。

现有的金属条带连续卷绕镀膜装置大多是箱体式的，放卷室、收卷室和溅射室均在一个箱式体内。中国专利200420077793.6公开的一种太阳能选择性吸附涂层连续镀膜装置，所述真空室与真空室两室之间设置一个独立的过度装置，虽然完成单个室独立连续镀膜，但上述的设备在镀制过程中，工件在每一个镀膜之后，都会脱落真空环境之后进入真空过度装置中，这样由于在两次镀制过程中工件在温度和真空条件变化下，容易影响膜层质量。中国专利200810241896.7公开的一种连续卷绕式磁控溅真空镀膜装置，在其真空室内腔中水平设置有由三个辊构成的三角形张力控制装置，此装置结构使金属条带卷弯半径小，易将镀膜后膜层损坏。另外，上述两种金属条带连续卷绕镀膜装置在工艺室中部设有工艺室隔离板，将工艺室隔离成两个独立的腔体，原材料消耗和工艺能耗都比较大。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的上述不足，而提供一种积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备。

本发明的技术方案是：一种积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，包括卷室放、收卷室和积木式真空室，真空室分别为离子源轰击清洗室、独立气体隔离室、真空溅射室、中频溅射室和检测室，每个积木式真空室均有独立的真空系统，卷室放的一端与第一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接，收卷室与最后一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接。

积木式真空室有十三个，第一个和第二个真空室为离子源轰击清洗室，第三个和第十个真空室为独立气体隔离室，第四个到第九个真空室为真空溅射室，每个真空溅射室中都装有两个直流溅射靶，第十一个和第十二个真空室为中频溅射室，每个中频溅射室中都装有两个中频溅射靶，第十三个真空室为检测室。

积木式真空室由真空室体和密封盖组成，真空室体和密封盖通过铰链连接；真空室体的上面有开口，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗、连接螺栓孔和用于安装密封圈的密封槽，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体。

真空室体侧面还安装有托辊。

真空室体侧面还安装有行进窗调整块。

密封盖上有密封圈。

密封盖上有密封件。

密封盖上有观察窗。

本发明与现有技术相比，具有如下特点：

一、积木式结构可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减，有利于达到工艺所需要求，如第一个和第二个真空室做清洗金属条带的离子源轰击清洗室，如清洗不干净也可以增加一个真空室做清洗金属条带的离子源轰击清洗室，其他功能室也可类似进行拼装调整，该结构新颖、简单、实用。

二、采用积木式结构，整个金属条带在每个真空室中的托辊的作用下，成水平匀速运动，保持了金属条带不卷弯，不跳动，加上匀速的线速度控制和高精度的涨力控制，使得金属条带平稳，从而保证膜层质量的稳定。