[发明专利]统计分析方法和衬底处理系统

权利要求书

1.一种用于对存储在数据库中的监控数据执行分析处理的统计分析方法，所述监控数据接收自配置为处理衬底的衬底处理装置，所述方法包括：

从所述衬底处理装置接收监控数据；

基于所述监控数据产生代表性值数据；

将所述代表性值数据与指示在产生所述监控数据时所述衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联；

在所述数据库中存储所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；

从所述数据库获取所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；

将排除参数与所获取的装置状况信息相比较，所述排除参数包括指示是否应当将与所述装置状况信息相关联的所述代表性值数据包括在统计分析目标中的信息；以及

基于比较结果确定是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中。

2.一种衬底处理系统，包括：

衬底处理装置，配置为处理衬底；以及

群组管理装置，配置为与所述衬底处理装置通信，所述群组管理装置包括：

通信单元，配置为从所述衬底处理装置接收监控数据；

监控数据接收模块，配置为从所述通信单元接收所述监控数据，并且进一步配置为在存储单元中存储所接收的监控数据；

代表性值产生模块，配置为获取存储在所述存储单元中的所述监控数据，基于所述监控数据产生代表性值数据，将所述代表性值数据与指示在产生所述监控数据时所述衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联，以及在所述存储单元中存储所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；以及

确定模块，配置为获取存储在所述存储单元中的所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息，将排除参数与所获取的装置状况信息相比较，所述排除参数包括指示是否应当将与所述装置状况信息相关联的所述代表性值数据包括在统计分析目标中的信息，以及基于比较结果确定是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中。

3.根据权利要求2的系统，其中所述确定模块进一步配置为基于所述比较结果将指示是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中的确定结果与所述代表性值数据相关联，以及在所述存储单元中存储与所述代表性值数据相关联的所述确定结果。

4.一种配置为与衬底处理装置通信的群组管理装置，所述衬底处理装置配置为处理衬底，所述群组管理装置包括：

通信单元，配置为从所述衬底处理装置接收监控数据；

监控数据接收模块，配置为从所述通信单元接收所述监控数据，并且进一步配置为在存储单元中存储所接收的监控数据；

代表性值产生模块，配置为获取存储在所述存储单元中的所述监控数据，基于所述监控数据产生代表性值数据，将所述代表性值数据与指示在产生所述监控数据时所述衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联，以及在所述存储单元中存储所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；以及

确定模块，配置为获取存储在所述存储单元中的代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息，将排除参数与所获取的装置状况信息相比较，所述排除参数包括指示是否应当将与所述装置状况信息相关联的代表性值数据包括在统计分析目标中的信息，以及基于比较结果确定是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中。

5.根据权利要求4的装置，其中所述确定模块进一步配置为基于所述比较结果将指示是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中的确定结果与所述代表性值数据相关联，以及在所述存储单元中存储与所述代表性值数据相关联的所述确定结果。