[发明专利]统计分析方法和衬底处理系统

说明书

相关申请的交叉引用

本申请基于2010年7月6日提交的日本专利申请No.2010-154251并且要求其优先权权益，在此通过引用并入该申请的全部内容。

技术领域

本公开涉及一种分析从适于处理衬底的衬底处理装置提供的监控数据的统计分析方法以及一种衬底处理系统。

背景技术

在根据制作方法(recipe)反复地执行衬底处理(例如批处理)的衬底处理装置中，可以在多个位置或元件(例如温度传感器、气体流量计、压力计等；以下称为“数据生成位置”)处获得监控数据。这种监控数据可以包括例如代表衬底处理的进度或衬底处理装置的状况的时间系列数据，该时间系列数据包括温度、气体流速、压力等。在相关领域中，已经利用了群组管理装置(即更高级管理设备)来集中且高效地管理一组衬底处理装置的状况或者在其中执行的衬底处理的进度。这种群组管理装置将从每个衬底处理装置提供的监控数据收集在数据库(DB)中，该监控数据代表了衬底处理的进度或者衬底处理装置的状况，并且该群组管理装置对监控数据执行预定分析。

群组管理装置以规定时段(例如在制作方法中所限定的工艺的开始和结束之间的时间间隔)获取存储在数据库中的监控数据，基于获取到的监控数据产生代表性值数据(包括平均值、最大值、最小值、标准偏差等)，并且在数据库中存储所产生的代表性值数据。进一步，在数据库中存储当前所产生的代表性值数据的过程中，群组管理装置还可以获取任何先前存储的、在相同状况下所产生的代表性值数据。在此情况下，群组管理装置可以将当前所产生的代表性值数据和先前存储的代表性值数据作为总体参数来处理，并且对该总体参数执行统计分析。

然而，即使用作总体参数的代表性值数据中仅包含一个不适当的值数据，群组管理装置也可能生成不期望的分析结果，这会导致对衬底处理装置的操作可靠性的错误诊断。例如，甚至在不经历统计分析的时间段期间(例如，当在生产现场对衬底处理装置执行试运行时，或者当对衬底处理装置执行维护工作时)，群组管理装置也可能收集由衬底处理装置生成的监控数据。进一步，群组管理装置可能基于所收集的监控数据产生代表性值数据(即，不应当作为进一步统计分析的目标来对待的代表性值数据)并将它们作为总体参数存储在数据库中。在这一情形中，当对这种总体参数执行统计分析时，难以精确估计衬底处理装置的操作可靠性，这再一次导致不正确的诊断结果。此外，可以获取存储在数据库中的这种代表性值数据用于进一步分析，这将不利地影响后续的分析结果。

发明内容

本公开提供了如下统计分析方法和衬底处理系统的一些实施例，其能够滤除不适当的监控数据(例如，在不经历统计分析的时间段期间产生的数据)，使得这种数据不能用于进一步分析，从而改善统计分析的精确度。

根据本公开的一个实施例，提供了一种统计分析方法，包括：从配置为处理衬底的衬底处理装置接收监控数据；基于监控数据产生代表性值数据；将代表性值数据与指示在产生监控数据时衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联；在数据库中存储代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息；从数据库获取代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息；将排除参数与获取到的装置状况信息相比较，该排除参数包括指示是否应当将与装置状况信息相关联的代表性值数据包括在统计分析目标中的信息；以及基于比较结果确定是否将获取到的代表性值数据包括在统计分析目标中。

根据本公开的另一实施例，提供了一种衬底处理系统，包括：衬底处理装置，配置为处理衬底；以及群组管理装置，配置为与衬底处理装置通信，该群组管理装置包括：通信单元，配置为从衬底处理装置接收监控数据；监控数据接收单元，配置为从通信单元接收监控数据，并且进一步配置为在存储单元中存储所接收的监控数据；代表性值产生单元，配置为获取存储在存储单元中的监控数据，基于监控数据产生代表性值数据，将代表性值数据与指示在产生监控数据时衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联，以及在存储单元中存储代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息；以及确定单元，配置为获取存储在存储单元中的代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息，将排除参数与获取到的装置状况信息相比较，该排除参数包括指示是否应当将与装置状况信息相关联的代表性值数据包括在统计分析目标中的信息，以及基于比较结果确定是否将获取到的代表性值数据包括在统计分析目标中。

附图说明

图1是示出根据本公开一个实施例的衬底处理系统的配置的示意性框图。