[发明专利]检测装置无效
| 申请号： | 201110195145.8 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102331428A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 具昶根 | 申请（专利权）人： | 韩美半导体株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
1.一种检测装置，用于检测一方向拥有延伸条纹状的多个锯痕(SM)的表面上连续形成的晶片(W)，其特征在于，包括：
一传输单元(10)，在一方向中连续及水平传送晶片(W)；
一相机(20)，其配置在晶片(W)的传送路径，及拍摄由所述传输单元(10)传送的晶片(W)；
一照明单元(30)，其相对于所述相机(20)的配置，且提供光给晶片(W)以拍摄晶片(W)；及
一棱镜片(40)，其位于所述相机(20)与所述照明单元(30)之间，所述棱镜片(40)为于一方向拥有延伸条纹状的多个不平坦图案(41)的表面上连续形成。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述棱镜片(40)的不平坦图案(41)延伸方向与晶片(W)的传输方向相同。
3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，所述晶片(W)的锯痕(SM)与所述棱镜片(40)的不平坦图案(41)彼此维持正交。
4.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，所述照明单元(30)在光出口表面拥有一半球形透镜(32)。
5.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，当拍摄晶片(W)时，所述照明单元(30)发出红外线光，且所述相机(20)包括一红外线相机，以拍摄晶片(W)红外线影像。
6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述红外线光的波长为800至2000nm。
7.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，所述棱镜片(40)与照明单元(30)分开预定距离。
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