[发明专利]基板检查装置以及基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查装置，其特征在于，具备：

输送部，其向第一方向输送基板；

缺陷检测部，其对向上述第一方向输送过程中的上述基板的缺陷进行检测；以及

图像获取部，其在上述输送过程中获取由上述缺陷检测部检测到的缺陷的图像。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

还具备缺陷选定部，该缺陷选定部选定由上述缺陷检测部检测到的缺陷中作为对象的缺陷，

上述图像获取部在上述输送过程中获取由上述缺陷选定部选定的缺陷的图像。

3.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述图像获取部具备能够在与上述第一方向垂直的方向上移动的摄像部，

上述缺陷选定部根据上述摄像部的移动速度和上述输送部输送上述基板的输送速度来选定作为上述对象的缺陷，以使排序后的缺陷中次序最靠前的缺陷作为对象。

4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其特征在于，

上述摄像部能够与上述第一方向平行地移动。

5.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

还具备排序部，该排序部对由上述缺陷检测部检测出的缺陷进行排序，

上述缺陷选定部根据由上述排序部进行的排序来选定作为上述对象的缺陷。

6.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

在存在通过上述缺陷选定部的选定未能成为对象的缺陷的情况下，上述输送部将上述基板向与上述第一方向相反的第二方向折回来进行输送，

上述图像获取部在向上述第二方向输送过程中获取未能成为上述对象的缺陷的图像。

7.一种基板检查方法，其特征在于，包括：

第一输送步骤，其向第一方向输送基板；

缺陷检测步骤，其对在上述第一输送步骤中向上述第一方向输送过程中的上述基板的缺陷进行检测；以及

图像获取步骤，其在上述第一输送步骤的上述输送过程中，获取在上述缺陷检测步骤中检测到的缺陷的图像。

8.根据权利要求7所述的基板检查方法，其特征在于，还包括：

排序步骤，其对在上述缺陷检测步骤中检测到的缺陷进行排序；以及

缺陷选定步骤，其从上述缺陷检测步骤中检测出的缺陷中，根据上述排序步骤进行的排序来选定作为对象的缺陷，

其中，上述图像获取步骤在上述第一输送步骤中上述输送过程中获取由上述缺陷选定步骤选定的缺陷的图像。

9.根据权利要求8所述的基板检查方法，其特征在于，

还包括第二输送步骤，该第二输送步骤在存在通过上述缺陷选定步骤未能成为对象的缺陷的情况下，将上述基板向与上述第一方向相反的第二方向折回来进行输送，

其中，上述图像获取步骤在上述第二输送步骤中向上述第二方向输送上述基板的过程中获取未能成为上述对象的缺陷的图像。