[发明专利]基板检查装置以及基板检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板检查装置以及基板检查方法。

背景技术

以往，在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma Display Panel：等离子体显示板)、有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器、表面传导电子发射元件显示器(SED：Surface-conduction Electron-emitter Display)等FPD(Flat Panel Display：平板显示器)基板、半导体晶圆、印刷基板等各种基板的制造中，为了提高其成品率，在进行图案形成工艺(Patterning process)后，逐个检查是否存在布线的短路、连接不良、断线、图案不良等图案形成错误。在这种基板检查中，首先，使用线扫描摄像机、CCD摄像机等来检测基板表面上存在的缺陷(缺陷检测检查)，之后，通过CCD摄像机等复检(review)摄像机来获取检测到的缺陷的放大图像(缺陷复检)。

专利文献1：日本特开2000-9661号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述现有技术中，存在以下问题：由于对一个基板结束缺陷检查后对该基板进行缺陷的复检，因此完成全部检查所需时间很长。另外，通过限制缺陷的复检时间也能够抑制完成检查所需的时间的增加，但在这种情况下，产生以下问题：由于实际上限制了成为缺陷复检的对象的缺陷的数量，因此不能进行详细的缺陷复检。

因此，本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制完成检查所需的时间增加的同时进行详细的缺陷复检的基板检查装置以及基板检查方法。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的基板检查装置的特征在于，具备：输送部，其向第一方向输送基板；缺陷检测部，其对向上述第一方向输送过程中的上述基板的缺陷进行检测；以及图像获取部，其在上述输送过程中获取由上述缺陷检测部检测到的缺陷的图像。

另外，本发明的基板检查方法的特征在于，包括：第一输送步骤，其向第一方向输送基板；缺陷检测步骤，其对在上述第一输送步骤中向上述第一方向输送过程中的上述基板的缺陷进行检测；以及图像获取步骤，其在上述第一输送步骤的上述输送过程中，获取在上述缺陷检测步骤中检测到的缺陷的图像。

发明的效果

根据本发明，与对基板进行的缺陷检测并行地获取该检测到的缺陷的图像，因此无需针对一个基板增加生产节拍(takt time)就能够获得更多的缺陷的图像。其结果是能够实现一种能够抑制完成检查所需的时间增加的同时进行详细的缺陷复检的基板检查装置以及基板检查方法。

附图说明

图1是表示一个实施方式的基板检查装置的概要结构的立体图。

图2是表示实施方式中的线扫描摄像机的拍摄范围与复检摄像机的可移动范围的关系的一例的示意图。

图3是表示实施方式中的线扫描摄像机的拍摄范围与复检摄像机的可移动范围的关系的另一例的示意图。

图4是表示图1所示的基板检查装置的概要结构的俯视图。

图5是表示实施方式的基板检查装置的概要功能结构的框图。

图6是表示实施方式的基板检查动作的概要流程的流程图。

图7是表示实施方式的缺陷检测处理的概要流程的流程图。

图8是表示实施方式的缺陷复检处理的概要流程的流程图。

图9是表示实施方式的折回缺陷复检处理的概要流程的流程图。

图10是表示实施方式的框的其它概要结构的俯视图。

附图标记说明