[发明专利]加压机构及接合装置

权利要求书

1.一种加压机构，具有：

被加压装置施加规定负载的底座部、具备加热装置的热盘部、固定在所述底座部上的且将施加到所述底座部的负载作为加压力传递到所述热盘部的支承部；其中，

所述支承部与所述热盘部没有被固定在一起，顶接所述热盘部的所述支承部的顶端部为自由端。

2.一种接合装置，具备：

被加压装置施加规定负载的底座部、具备加热装置的热盘部、以及支承部，所述支承部固定在所述底座部上且将施加到所述底座部的负载作为加压力传递到所述热盘部，所述支承部的顶端部为没有与所述热盘部固定在一起的自由端；其中，

所述热盘部在所述加压力的作用面的至少一侧的面上具有筒状空间，且在所述加压力的作用方向上配置了多个所述热盘部；通过在所述加压力的作用方向上邻接的所述热盘部之间相互重叠，使真空室形成在这些热盘部之间，在所述真空室内热压接并接合多个粘合用基材。

3.根据权利要求2所述的接合装置，其特征在于，所述支承部由多个支柱构成，所述支柱的支柱长度能够分别进行调整，或能够对支柱自身分别进行更换，分别设定支柱长度使得在热压接时能够均匀地加压到所述粘合用基材上。

4.根据权利要求2所述的接合装置，其特征在于，所述真空室分别形成在相互邻接的所述热盘部之间，所述热盘部中形成有连通所述真空室之间的连通路。

5.根据权利要求2～4的任一项所述的接合装置，其特征在于，具有在所述热盘部的非压合状态下分别支承多个所述热盘部的热盘支承部，在所述热盘部的压合状态下俯视所述热盘部时，所述热盘支承部设置在互不干扰的位置。