[发明专利]加压机构及接合装置

说明书

技术领域

本发明涉及使规定的压力作用于板状或薄片状的粘合用基材的加压机构，以及通过热压接而接合多个板状或薄片状的粘合用基材从而制造复合基板的接合装置。

背景技术

现有的加压装置是，在传递负载的浮动模柄部(底座)与加压板(热盘)之间通过支柱及绝热材料利用缔结部(例如螺丝等)而固定的构造(参照下述专利文献1的段落【0028】及图2等)。

现有的真空装置是，分别对每个小室进行抽真空的构造(参照下述专利文献2的段落【0015】及图1等)。

现有技术文献

【专利文献1】日本发明专利申请公开特开2006-136916号公报

【专利文献2】日本发明专利申请公开特开平9-57779号公报

本发明要解决的技术问题

但是，专利文献1的加压装置中，由于升温和冷却的重复使得缔结部变得松弛，从而不能够通过浮动模柄部施加偏差小的稳定的负载。为了持续施加稳定的负载，有必要通过定期检查确认螺丝的松弛，进行拧紧处理。此外，由于绝热材料介于浮动模柄部与加压板之间，因热膨胀率的差异，使得随温度升高而向水平方向伸展的量各有不同。结果，加压板的下表面变弯。因此，还是不能够通过浮动模柄部施加偏差小的稳定的负载。

专利文献2的真空装置中，由于对每个小室分别进行抽真空因此各个小室的真空度之间会产生偏差。这样，每个小室的脱气状态不同，会引起接合后的复合基板的品质差异。分别对每个小室进行抽真空，使得真空装置的构造及真空控制方法变得复杂。

因此，本发明的第一目的是提供一种能够以简易的构造施加稳定的负载的机构。

此外，本发明的第二目的是提供一种能够以简易的构造及控制方法防止复合基板的品质差异的接合装置。

发明内容

解决问题的方案

本发明涉及一种加压机构，其具有：被加压装置施加规定负载的底座部、具备加热装置的热盘部、固定在所述底座部上的且将施加到所述底座部的负载作为加压力传递到所述热盘部的支承部；其中，所述支承部与所述热盘部没有被固定在一起，顶接所述热盘部的所述支承部的顶端部为自由端。

本发明涉及一种接合装置，具备：被加压装置施加规定负载的底座部、具备加热装置的热盘部、及支承部，所述支承部固定在所述底座部上且将施加到所述底座部的负载作为加压力传递到所述热盘部，支承部的顶端部为没有与所述热盘部固定在一起的自由端；其中，所述热盘部在所述加压力的作用面的至少一侧的面上具有筒状空间，且在所述加压力的作用方向上配置了多个所述热盘部；通过在所述加压力的作用方向上邻接的所述热盘部之间相互重叠，使真空室形成在这些热盘部之间，在所述真空室内热压接并接合多个粘合用基材。

这时，最好是所述支承部由多个支柱构成，所述支柱的支柱长度能够分别进行调整，或能够对支柱自身分别进行更换，分别设定支柱长度使得在热压接时能够均匀地加压到所述粘合用基材上。

这时，最好是所述真空室分别形成在相互邻接的所述热盘部之间，所述热盘部中形成有连通所述真空室之间的连通路。

这时，最好是具有在所述热盘部的非压合状态下分别支承多个所述热盘部的热盘支承部，在所述热盘部压合状态下俯视所述热盘部时，所述热盘支承部分别设置在互不干扰的位置。

发明的有益效果

根据本发明，通过加压装置施加规定的负载到底座部时，施加到底座部的负载作为加压力通过支承部传递到热盘部。这样，能够将加压装置的负载传递到热盘部。

这里，支承部的顶端部与热盘部没有被固定在一起，支承部的顶端部成为自由端。因此，热盘部的热膨胀使热应力作用于热盘部时，由于支承部的顶端部与热盘部没有被固定在一起，因此热应力作为外力不会传递到支承部(能够释放热应力)。

换言之，如果支承部的顶端部与热盘部被固定在一起，热盘部的热膨胀使得热盘部的热应力作为外力作用于支承部，热盘部的位置错乱，从热盘部作用的加压力就产生偏差。

但是，由于本发明的支承部的顶端部与热盘部没有被固定在一起，支承部的顶端部成为自由端，因此热盘部的热应力作为外力不会作用于支承部。这样，热盘部的位置稳定，能够防止从热盘部作用的加压力产生偏差。因此，能够以简易的构造的加压机构使稳定的负载作用于粘合用基材。

在加压力的作用方向上配置多个热盘部，通过在加压力的作用方向上相互邻接的热盘部相互压接使真空室形成在这些热盘部之间，在该真空室内将各个粘合用基材热压接并接合。