[发明专利]防止机械手臂凝结水滴的装置和方法有效
申请号: | 201110198692.1 | 申请日: | 2011-07-15 |
公开(公告)号: | CN102881559A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 邵业明;张伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 防止 机械 手臂 凝结 水滴 装置 方法 | ||
1.一种防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,包括文丘里管气体加压喷射装置,所述文丘里管气体加压喷射装置设置在所述机械手臂上,所述文丘里管气体加压喷射装置具有截面变小的气流通道,所述文丘里管气体加压喷射装置将流入其内部的气流进行加速后喷射到所述机械手臂。
2.根据权利要求1所述防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述文丘里管气体加压喷射装置包括加速部件和导流部件,所述导流部件的入气口和所述加速部件的出气口处连接,所述导流部件的排气口与所述机械手臂的上部相匹配,所述加速部件具有所述截面变小的气流通道。
3.根据权利要求2所述防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述加速部件包括两块内凹的曲形板,所述两块内凹的曲形板横向设置并形成从上至下的所述气流通道,所述气流通道具有位于上方的进气口、位于下方的出气口和位于内部的截面最小部位。
4.根据权利要求3所述防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述进气口、所述出气口和所述截面最小部位的宽度比例是6∶2∶5。
5.根据权利要求3所述防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述导流部件包括两块平面板,所述两块平面板的长度和所述曲形板的长度相对应,所述两块平面板的上端和下端分别形成所述导流部件的入气口和排气口,所述两块平面板的上端对应连接在所述两块内凹的曲形板的下端,所述两块平面板的下端与所述机械手臂的上部相匹配,且所述两块平面板上端之间的距离小于下端之间的距离。
6.根据权利要求1所述的防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述机械手臂和所述文丘里管气体加压喷射装置是横向设置的,所述文丘里管气体加压喷射装置的长度和所述机械手臂相对应。
7.根据权利要求1所述的防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,还包括气源装置,所述气流来自所述气源装置。
8.根据权利要求7所述的防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,所述气源装置是鼓风机或风扇。
9.根据权利要求7所述的防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,还包括高效空气过滤器,所述高效空气过滤器设置在所述气源装置和所述文丘里管气体加压喷射装置之间,所述高效空气过滤器通过管道和所述气源装置连接,所述气源装置出来的气流经过所述高效空气过滤器过滤后进入所述文丘里管气体加压喷射装置。
10.一种防止机械手臂凝结水滴的方法,采用如权利要求1-9中任意一项所述的防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,包括如下步骤:文丘里管气体加压喷射装置将进入自身内部的气流进行加速;以及文丘里管气体加压喷射装置将加速后的气流喷射到所述机械手臂。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110198692.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:全自动铅蓄电池包板机
- 下一篇:温湿度的控制方法、装置及系统
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造