[发明专利]防止机械手臂凝结水滴的装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种防止机械手臂凝结水滴的装置和方法。

背景技术

目前，在半导体工艺车间内，经常需要使用机械手臂，以将晶舟从一个工艺槽移动到另一个工艺槽，这些工艺槽排列设置在车间内，工艺槽内含有所需的化学试剂，例如温度高达165摄氏度的磷酸盐。一般的，所述晶舟放置在载物板上，所述载物板通过两个挂钩吊在横向设置的所述机械手臂上。通过移动机械手臂来实现将吊在所述机械手臂下方的载物板及其上的晶舟移动，最终实现放置在晶舟内的晶圆的运输工作。

然而，在使用中发现，由于工艺槽中的化学试剂温度比较高，化学试剂所挥发出来的水汽容易沾到所述机械手臂表面上并逐步形成水滴。一旦，机械手臂在移动过程中出现较大振动或冲击，这些水滴容易被甩到位于晶舟内的晶圆上，从而污染晶圆，以致严重影响产品良率。

因此，如何提供一种可以防止机械手臂凝结水滴的装置和方法，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防止机械手臂凝结水滴的装置和方法，可以实现在没有强力风源的情况下，将较低速度的风进行加速，从而及时将机械手臂上沾附的水汽吹走，防止机械手臂上的水汽凝结成水滴。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种防止机械手臂凝结水滴的装置，包括文丘里管气体加压喷射装置，所述文丘里管气体加压喷射装置设置在所述机械手臂上，所述文丘里管气体加压喷射装置具有截面变小的气流通道，所述文丘里管气体加压喷射装置将流入其内部的气流进行加速后喷射到所述机械手臂。

优选地，所述文丘里管气体加压喷射装置包括加速部件和导流部件，所述导流部件的入气口和所述加速部件的出气口处连接，所述导流部件的排气口与所述机械手臂的上部相匹配，所述加速部件具有所述截面变小的气流通道。

优选地，所述加速部件包括两块内凹的曲形板，所述两块内凹的曲形板横向设置并形成从上至下的所述气流通道，所述气流通道具有位于上方的进气口、位于下方的出气口和位于内部的截面最小部位。

优选地，所述进气口、所述出气口和所述截面最小部位的宽度比例是6∶2∶5。

优选地，所述导流部件包括两块平面板，所述两块平面板的长度和所述曲形板的长度相对应，所述两块平面板的上端和下端分别形成所述导流部件的入气口和排气口，所述两块平面板的上端对应连接在所述两块内凹的曲形板的下端，所述两块平面板的下端与所述机械手臂的上部相匹配，且所述两块平面板上端之间的距离小于下端之间的距离。

优选地，所述机械手臂和所述文丘里管气体加压喷射装置是横向设置的，所述文丘里管气体加压喷射装置的长度和所述机械手臂相对应。

优选地，所述防止机械手臂凝结水滴的装置还包括气源装置，所述气流来自所述气源装置。

优选地，所述气源装置是鼓风机或风扇。

优选地，所述防止机械手臂凝结水滴的装置还包括高效空气过滤器，所述高效空气过滤器设置在所述气源装置和所述文丘里管气体加压喷射装置之间，所述高效空气过滤器通过管道和所述气源装置连接，所述气源装置出来的气流经过所述高效空气过滤器过滤后进入所述文丘里管气体加压喷射装置。

优选地，本发明还公开了一种防止机械手臂凝结水滴的方法，采用如上所述的防止机械手臂凝结水滴的装置，包括如下步骤：

第一步，文丘里管气体加压喷射装置将进入自身内部的气流进行加速；

第二步，文丘里管气体加压喷射装置将加速后的气流喷射到所述机械手臂。

本发明的有益效果如下：

本发明通过在所述机械手臂的上方增设文丘里管气体加压喷射装置，所述文丘里管气体加压喷射装置内具有截面突然变小的气流通道，可以将风速较低的气流进行加速，使得加速后的气流喷射到所述机械手臂上，从而将机械手臂上的水汽吹走，防止水汽逐步凝结成水滴而滴落到晶圆上，污染晶圆。也就是说，通过增设所述文丘里管气体加压喷射装置后，可以利用车间内本身具有的从高效空气过滤器出来的较低速度的气流，对其利用文丘里原理进行加速后喷射到所述机械手臂上，而不需要额外增加需要很多动力源的气源装置，从而即实现了吹走机械手臂上的水汽的目的，同时也有效节约了能源。

附图说明

本发明的防止机械手臂凝结水滴的装置及方法由以下的实施例及附图给出。

图1为本发明防止机械手臂凝结水滴的装置实施例的结构示意图；

图2为图1的侧视图；

图3为本发明实施例的文丘里管气体加压喷射装置的结构示意图；