[发明专利]光扫描仪及其制造方法、反射镜芯片以及图像形成装置

权利要求书

1.一种光扫描仪，其特征在于，具备：

光反射构件，其具有光反射面；

可动部，其具备所述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；

4个可动梁，它们从所述可动部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可动部的俯视中沿所述可动部的周向以90度的间隔设置；

位移部，其与所述可动梁连结；

2个驱动梁，它们从所述位移部起与所述可动梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；

固定部，其连结所述驱动梁；

内框部，其形成于所述位移部；

永久磁铁，其固定于所述内框部；

驱动部，其驱动所述位移部，

所述可动梁具有使所述可动梁沿与所述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。

2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，所述内框部朝向所述可动梁延伸的方向开口。

3.一种反射镜芯片，其特征在于，具备：

光反射构件，其具有光反射面；

可动部，其具备所述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；

4个可动梁，它们从所述可动部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可动部的俯视中沿所述可动部的周向以90度的间隔设置；

位移部，其与所述可动梁连结；

2个驱动梁，它们从所述位移部起与所述可动梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；

固定部，其连结所述驱动梁；

内框部，其形成于所述位移部；

永久磁铁，其固定于所述内框部；

支撑部，其包围所述可动部、所述可动梁、所述位移部、所述驱动梁以及所述固定部而形成；

分离部，其将所述固定部与所述支撑部连结，

所述可动梁具有使所述可动梁沿与所述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。

4.根据权利要求3所述的反射镜芯片，其特征在于，所述分离部将所述固定部与所述支撑部局部地连结。

5.根据权利要求3所述的反射镜芯片，其特征在于，所述分离部具有比所述固定部及所述支撑部的厚度小的厚度。

6.一种光扫描仪的制造方法，其特征在于，包括：形成反射镜芯片的工序、固定工序、分离工序，

其中所述反射镜芯片具备：

光反射构件，其具有光反射面；

可动部，其具备所述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；

4个可动梁，它们从所述可动部起沿所述光反射面延伸，并且在所述可动部的俯视中沿所述可动部的周向以90度的间隔设置；

位移部，其与所述可动梁连结；

2个驱动梁，它们从所述位移部起与所述可动梁正交地沿所述光反射面的表面方向延伸；

固定部，其连结所述驱动梁；

支撑部，其包围所述可动部、所述可动梁、所述位移部、所述驱动梁以及所述固定部而形成；

分离部，其将所述固定部与所述支撑部连结，

所述可动梁具有使所述可动梁沿与所述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部，

所述固定工序是将所述固定部固定于底座上的工序，

所述分离工序是在所述分离部处将所述固定部与所述支撑部分离的工序。