[发明专利]光扫描仪及其制造方法、反射镜芯片以及图像形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及光扫描仪、反射镜芯片、光扫描仪的制造方法以及图像形成装置。

背景技术

作为例如在激光打印机等装置中用于利用光扫描进行描绘的光扫描仪，已知有使用了由扭摆振子构成的促动器的光扫描仪(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1中公开了具备设有一对永久磁铁的绝缘基板和以位于一对永久磁铁之间的方式由绝缘基板支撑的扫描仪主体的促动器。另外，扫描仪主体具有：框状的支撑部、设于支撑部的内侧的框状的外侧可动板、和设于外侧可动板的内侧的内侧可动板(反射镜)。另外，外侧可动板借助沿X轴方向延长的一对第一扭杆来与支撑部连结，内侧可动板借助沿与X轴方向正交的Y轴方向延长的第二扭杆来与外侧可动板连结。另外，在外侧可动板及内侧可动板分别设有线圈。

在这样的构成的促动器中，通过使利用通电而从各线圈中产生的磁场与在一对永久磁铁间产生的磁场发挥作用，外侧可动板就与内侧可动板一起以第一扭杆为中心轴绕着X轴转动，内侧可动板就以第二扭杆为中心轴绕着Y轴转动。

专利文献1日本特开2005-181395号公报

如此所述，在专利文献1的促动器中，使内侧可动板绕着X轴转动的机构与绕着Y轴转动的机构是不同的。由此，就无法使内侧可动板绕着X轴及Y轴在相等的条件下转动。另外，在专利文献1的促动器中，从设于外侧可动板的线圈产生的磁场与从设于内侧可动板的线圈产生的磁场相干涉，无法使内侧可动板绕着X轴及Y轴的各自的轴独立地转动。所以，专利文献1的促动器中，存在无法使内侧可动板绕着X轴及Y轴的各自的轴稳定地转动的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供如下的光扫描仪及图像形成装置，即，可以使可动板绕着相互正交的2个轴的各自的轴稳定地转动，抑制可动板与转动的轴的偏差，实现正确的图像。

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而完成的。可以利用以下的方式或适用例来实现。

[适用例1]本适用例的光扫描仪的主旨在于，具备：光反射构件，其具有光反射面；可动部，其具备上述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；4个可动梁，它们从上述可动部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可动部的俯视中沿上述可动部的周向以90度的间隔设置；位移部，其与上述可动梁连结；2个驱动梁，它们从上述位移部起与上述可动梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其连结上述驱动梁；内框部，其形成于上述位移部；永久磁铁，其固定于上述内框部；驱动部，其驱动上述位移部，上述可动梁具有使上述可动梁沿与上述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。

这样，就可以独立地进行绕着相互正交的2个轴中的一方的轴的可动部的转动、和绕着另一方的轴的可动部的转动。由此，就可以提供能够使可动部绕着相互正交的2个轴的各自的轴稳定地转动的光扫描仪。此外，这样的话，就可以将驱动位移部的驱动部靠近固定在位移部的内框部中的永久磁铁地配置。由此，就可以将利用永久磁铁在驱动部中产生的扭距设为高的状态。由于扭距与磁场成比例，由线圈产生的磁场与电流成比例，因此通过将驱动部靠近永久磁铁地配置，就可以用低电流来产生相同的扭距。此外，由于耗电与电流的平方成比例，因此可以降低驱动位移部的驱动部的耗电，从而可以获得实现节电化且稳定地驱动的双轴驱动的光扫描仪。

[适用例2]优选地，在上述适用例的光扫描仪中，上述内框部朝向上述可动梁延伸的方向开口。

这样的话，由于内框部朝向可动梁延伸的方向开口，因此在驱动部与永久磁铁之间不存在内框部，所以就可以将驱动部更靠近永久磁铁地配置，从而可以获得实现进一步的节电化的光扫描仪。

[适用例3]本适用例的反射镜芯片的主旨在于，具备：光反射构件，其具有光反射面；可动部，其具备上述光反射构件，并且能够绕着转动中心轴转动；4个可动梁，它们从上述可动部起沿上述光反射面延伸，并且在上述可动部的俯视中沿上述可动部的周向以90度的间隔设置；位移部，其与上述可动梁连结；2个驱动梁，它们从上述位移部起与上述可动梁正交地沿上述光反射面的表面方向延伸；固定部，其连结着上述驱动梁；内框部，其形成于上述位移部；永久磁铁，其固定于上述内框部；支撑部，其包围上述可动部、上述可动梁、上述位移部、上述驱动梁以及上述固定部而形成；分离部，其将上述固定部与上述支撑部连结，上述可动梁具有使上述可动梁沿与上述光反射面垂直的方向进行屈曲变形的屈曲部。