[发明专利]微线圈、其制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种微线圈，该线圈由下述反应容器制得，该反应容器包括，筒状容器主体；

以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，

在该反应容器中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内，与此同时，自上述横向上两相向壁部的另一方，将容器主体内的气体排出；

所述微线圈是如下形成的，在该容器主体中，将自其横向上两相向壁部的上述一方导入的上述原料气体，在一预定高温下利用触媒加以热分解而在基材上生成气体状碳物种，所述微线圈据上述气体状碳物种自该基材成长而成。

2.一种微线圈的制造方法，准备具有下述结构的反应容器，该反应容器包括，筒状容器主体；以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，在该反应容器中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内的同时，自上述横向上两相向壁部的另一方，将容器主体内的气体排出；该方法还包括如下步骤，

将容器主体加热至预定高温而保持的加热工序；

以及于容器主体中，自其横向上两相向壁部的上述一方，导入上述原料气体的原料气体导入工序；

于该原料气体导入工序中，将容器主体保持于上述预定高温的状态下，将导入至容器主体内的上述原料气体，利用上述触媒加以热分解，而使其气体状碳物种生成于基材上，依据此气体状碳物种，自基材使微线圈成长加以制造。

3.一种微线圈的制造方法，首先准备具有下述结构的反应容器，

该反应容器包括，筒状容器主体；以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，

在该反应容器中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的上下方向上相向壁部的下方相向壁，导入至该容器主体内的同时，自上述上下方向上相向壁部的上方相向壁，将容器主体内的气体排出；该方法还包括如下步骤，

将该容器主体加热至预定高温而保持的加热工序；

以及于该容器主体中，自其上述下方相向壁部，导入上述原料气体的原料气体导入工序；

于该原料气体导入工序中，将容器主体保持于上述预定高温的状态下，将导入至容器主体内的上述原料气体，利用上述触媒加以热分解，而使其气体状碳物种生成于基材上，依据此气体状碳物种，自基材使微线圈成长加以制造。

4.如权利要求2或3所述之微线圈的制造方法，其特征在于，基材具有沿筒状容器主体轴向被插入于其内并于外周面上承载上述触媒而成的筒状基体，在上述原料气体导入工序中，将筒状容器主体保持于上述预定高温的状态下，将导入至筒状容主体内的上述原料气体，利用上述触媒使其热分解，并使气体状碳物种生成于筒状基体的外周面上，依据此气体状碳物种，自筒状基体的外周面使微线圈成长加以制造。

5.如权利要求2或3所述之微线圈的制造方法，其特征在于，上述原料气体为由乙炔气体、氢气体及硫化氢气体所组成的混合气体，在上述加热工序中，将上述预定高温设为600(℃)～900(℃)的范围内的温度，将容器主体加热至此高温而保持。

6.如权利要求4所述之微线圈的制造方法，其特征在于，上述原料气体为由乙炔气体、氢气体及硫化氢气体所组成的混合气体，其特征在于，在上述加热工序中，将上述预定高温设为600(℃)～900(℃)的范围内的温度，将容器主体加热至此高温而保持。