[发明专利]微线圈、其制造方法及制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种微线圈、其制造方法及制造装置。

背景技术

现有技术中，就这种制造装置而言，存在下列专利文献1中所记载的线圈状碳纤维的制造装置的方案。此制造装置，具有为使线圈状碳纤维成长所需要的圆管状的反应容器。

此外，于该反应容器中，设有流入口、一对的注入口及流出口。上述流入口，以突出的方式形成在反应容器的中央上部周面上，该流入口用于使碳化氢气体或一氧化碳气体等原料气体流入至反应容器内。上述一对的注入口突出地形成在反应容器的二端部的上部周面上，该一对的注入口用于使密封气体注入至反应容器内。此外，上述流出口呈与上述流入口相对应地被以突出的方式形成在反应容器的中央下部周面上，该流出口用于使流入至反应容器内的原料气体，或者使被注入至反应容器内的密封气体流出。

换言之，在反应容器中，上述流入口及一对的注入口被设为自其上部朝上方垂直地延伸，而分别实现其功能，此外，上述流出口被设为自其下部朝下方垂直地延伸，而实现其功能。

在于像这样所构成的制造装置中，将反应容器利用加热器而加热至预定温度的状态下中，当将原料气体自上述流入口供给时，该原料气体于反应容器内朝向下方地流入，而在反应容器内被热分解。于是，以像这样所热分解的原料气体为基础，在反应容器内，气相成长碳纤维从涂布有金属触媒并收纳于该反应容器的基材上边卷绕成线圈状边成长。

<现有技术文献>

<专利文献1>特开平11-081051号公报

发明内容

<发明所欲解决的课题>

如上所述，上述制造装置的流入口自反应容器的上部朝其上方垂直地被延伸。这意味着采用了上述结构的制造装置是将原料气体，于反应容器内自其上方朝向下方强制地导入的方式。

从而，这种制造装置中，源于流入口相对于如上所述的反应容器的设置结构，限制了反应容器内的原料气体的对流等流动或其与金属触媒间的接触。结果，反应容器内中，充分的热分解反应或触媒反应并不易发生，且造成所谓的线圈的产量或纯度亦非常地低的缺点。

此外，上述制造装置中，流入口是自反应容器的上部朝其上方垂直地被延伸，此外，流出口是自反应容器的下部朝其下方垂直地被延伸。从而，上述制造装置中，不易将多个该反应容器在上下方向上层叠，其结果，造成无法高效率地大量制造线圈状碳纤维的缺点。

此处，本发明为了解决以上所述事项，于朝原料气体的反应容器内的导入及自该反应容器的气体排出的构成上加以精心钻研，以提供一种于反应容器中的原料气体的流动或其与触媒间的接触得以良好地进行而加以制造而成的微线圈、其制造方法及制造装置为目的。

<解决课题的手段>

为解决上述课题，本发明所涉及的微线圈，根据本发明第1项技术方案的记载，本发明的微线圈由下述反应容器制得，该反应容器包括，筒状容器主体(20a)；以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材(30)，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，在该反应容器(20)中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内的同时，自上述横向上两相向壁部的另一方，将容器主体内的气体排出；所述微线圈是如下形成的，在该容器主体中，将自其横向上两相向壁部的上述一方导入的上述原料气体，在一预定高温下利用触媒加以热分解而在基材上生成气体状碳物种，所述微线圈据上述气体状碳物种自该基材成长而成。

据此，于反应容器中，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内的原料气体，于容器主体内中，在横向上圆滑且良好地流动，而得以将其与基材的触媒间的反应变得良好。从而，将容器主体以上述预定高温进行保持，将导入至容器主体内的原料气体，利用上述触媒加以热分解，而得以使气体状碳物种良好地生成在基材上。其结果，微线圈是依据该气体状碳物种，自基材成长，从而能够良好地、高效率获得微线圈。

此外，本发明所涉及微线圈的制造方法，根据本发明第2项技术方案的记载，首先准备具有下述结构的反应容器，该反应容器包括，筒状容器主体(20a)；以及于该容器主体内沿着其轴向被插入的基材(30)，该基材与容器主体的内周面相对并承载触媒，并且，在该反应容器(20)中，将在热分解时生成气体状碳物种的原料气体，自容器主体的横向上两相向壁部的一方，导入至该容器主体内的同时，自上述横向上两相向壁部的另一方，将容器主体内的气体排出；该方法还包括如下步骤，