[发明专利]ITO银浆走线的制作方法无效

专利信息
申请号: 201110202545.7 申请日: 2011-07-19
公开(公告)号: CN102221936A 公开(公告)日: 2011-10-19
发明(设计)人: 蔡汉业;吕一帆 申请(专利权)人: 信利半导体有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 逯长明
地址: 516600 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: ito 银浆走线 制作方法
【权利要求书】:

1.一种ITO银浆走线的制作方法,其特征在于,包括:

丝印银浆,在TIO上构成整片银浆;

固化所述丝印后的整片银浆;

对所述固化后的整片银浆执行激光干刻,获取银浆走线。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述执行激光干刻,获取预设宽度的银浆走线的具体过程包括:

依据预设的银浆走线图示,利用激光干刻的高温气化多余的银浆;

获取对应所述银浆走线图示中银浆走线。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述银浆走线的宽度的范围包括:30微米~50微米。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,各个所述银浆走线之间的间距的范围包括:30微米~50微米。

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述银浆走线的宽度为40微米;所述银浆走线的间距为30微米。

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