[发明专利]振动归位梭车及具有该梭车的半导体元件检测机台

权利要求书

1.一种振动归位梭车，是供承载多个待测或已测半导体元件，其中该振动归位梭车包括：

一个形成有至少一个供一个前述半导体元件沿一个置放平面置入的承载座的本体；及

一个使该至少一个承载座沿该置放平面方向振动的振动单元，该振动单元包括至少一个振荡子。

2.如权利要求1所述的振动归位梭车，其中该本体包括一个上半部件、及一个与该上半部件共同形成有一个容纳该振动单元的容室的下半部件。

3.如权利要求2所述的振动归位梭车，其中前述振荡子分别包括：

一个形成有一个偏离重心位置的枢接孔的偏心轮；及

一个两端分别设置于该上半部件及该下半部件、且穿经该枢接孔的转轴。

4.如权利要求2所述的振动归位梭车，其中该容室壁面向内形成有内齿轮，该振动单元更包括一个位于该容室中心的太阳齿轮，且该振荡子是一个同时接触该太阳齿轮及该内齿轮的行星齿轮。

5.如权利要求2、3或4所述的振动归位梭车，其中前述振荡子是一对一地对应于前述承载座设置；以及每一前述承载座分别具有一个连接该对应振荡子的承载部。

6.一种具有振动归位梭车的半导体元件检测机台，供检测数个半导体元件，该检测机台包括：

一个基座；

一个形成于该基座、供置放至少一个形成有供承载数个待测半导体元件的入料盘的入料区；

一个形成于该基座、供置放数个形成有供承载数个已测半导体元件的出料盘的出料区；

一组具有至少一个测试座、并设置于该基座上的检测装置；

至少一个对应前述至少一个测试座、并供携带前述待测半导体元件至该检测装置及携出来自该检测装置的已测半导体元件的振动归位梭车，包括：

一个形成有至少一个供一个前述半导体元件沿一个置放平面置入的承载座的本体；及

一个使该至少一个承载座沿该置放平面方向振动的振动单元，该振动单元包括至少一个振荡子；

一组在该入料区、前述至少一个振动归位梭车、及该出料区间搬移前述半导体元件的移载装置；及

一个供驱动该振动单元振动的控制装置。

7.如权利要求6所述的检测机台，其中该检测装置包括多个测试座，及分别对应前述测试座并供在该测试座与前述振动归位梭车间搬移待测与已测半导体元件的多个测试臂；以及该检测机台更包括多个分别对应前述测试座的振动归位梭车。

8.如权利要求6或7所述的检测机台，更包括一组供检测前述至少一个振动归位梭车的水平检测装置，该水平检测装置包括多个分别对应前述振动归位梭车各承载座的光学收发单元。

9.如权利要求8所述的检测机台，其中前述光学收发单元分别包括：

一个发光/激光二极管；

一根将该发光/激光二极管所发光以大致垂直该置放平面方向导引至该对应承载座、并供将该对应承载座中容纳的待测半导体元件反射光反向传输的光纤；及

一个对应该光纤的光学接收器。

10.如权利要求8所述的检测机台，其中前述光学收发单元分别包括：

一个以光发射方向平行该置放平面设置于该机台的激光二极管；及

一个与该激光二极管位于该对应承载座的相对侧面，供接收该激光二极管所发光束的光学接收器。