[发明专利]振动归位梭车及具有该梭车的半导体元件检测机台

说明书

【技术领域】

本发明是关于一种梭车及具有该梭车的检测机台，尤其是一种振动归位梭车及具有该振动归位梭车的半导体元件检测机台。

【背景技术】

目前测试半导体元件的方法，主要可以分为虚拟测试与实境测试，其中虚拟测试是指针对各IC的不同特性、根据预定的电路设计撰写出特定的测试软件，藉以确认例如脚位间是否非预期地短路或断路、以及是否符合预定的逻辑关系；实境测试则是藉由已经具有完整功效的公板，仅将待测IC位置留白，将每个待测IC轮流补入该空白位置，测试此时公板是否能正常运作，从而确认此待测IC的功能正常，并依测试结果作为分类的依据。当要测试不同IC时，仅需替换不同公板及测试的软件即可。

为提升效率，目前测试机台输送及量测待测半导体元件过程均已采用自动化测试，如图1所示，在入料区叠放有多组入料匣4，每一入料匣4中放置有多颗待测半导体元件51。开始测试时，先将最下方的入料匣4向图式下方移出约一行的间距，并由一个入料臂31将此入料匣4第一行内的待测半导体元件51移载至横向移动的入料梭车33上，入料梭车33随即右移至测试臂组件221可汲取的位置，再由测试臂组件221将待测半导体元件51移载于测试座21进行测试，测试完成后，测试臂组件221将已测半导体元件52送至图式上方的出料梭车34上，出料梭车34随即右移至出料臂32可汲取的位置，并由出料臂32依测试的数据资料做为已测半导体元件52的分类依据，分别移载至图式右下方诸多分类料匣中的对应分类料匣中。

一并参考图2及图3所示，然而，当入料臂31将待测半导体元件51移载至横向移动的入料梭车33上，以及测试臂组件221将已测的半导体元件52送至出料梭车34上时，若半导体元件未被平整放置，造成如图2所示的歪斜，半导体元件摆放超出梭车上预设的承载座位置，此时没有即时修正，则在测试臂组件221或出料臂32下压汲取时，极可能造成如图3所示，破坏该半导体元件的不良后果。如此，不仅需立即停机而以人力排除受压损坏的废品，因而无谓延缓自动化的产出效能，甚至可能更进一步影响机械臂的定位精度，导致整个机台必须重新校准或甚至维修。

为避免上述情况发生，申请人原本规划的安全机制是一旦发现半导体元件置放不平整，就会直接停机警示，让操作人员人力排除不平整元件，再重新启动机台进行检测；但是，对于机台的产出效率无疑仍有延宕。

因此，若能提供一种振动归位梭车，一旦察觉有半导体元件未被稳妥地放在承载座中，即可透过沿水平方向的振动，使该元件受振动而些许位移，直到其被导正归位，机台才进行后续动作。如此，提高半导体元件被确实安放的机率，也大幅降低机台非预期地停机与损坏的风险，达到提高半导体元件产出效率与良率，且降低机台停机排除废品、以及被迫维修保养的发生机会，达到有效降低成本的目的。

【发明内容】

本发明之一目的在于提供一种具有振动单元、并提供梭车的承载座沿置放平面方向振动的振动归位梭车。

本发明的另一目的在于提供一种可自动将歪斜摆放至梭车承载座的半导体元件利用振动使其归位的振动归位梭车。

本发明的再一目的在于提供一种可自动化导正被歪斜放置于承载座的半导体元件的具有振动归位梭车的半导体元件检测机台。

本发明的又一目的在于提供一种意外停机的机率可被大幅降低，使产出效率提升的具有振动归位梭车的半导体元件检测机台。

依照本发明揭示的一种半导体元件的振动归位梭车，是供承载多个待测或已测半导体元件，其中该振动归位梭车包括：一个形成有至少一个供一个前述半导体元件沿一个置放平面置入的承载座的本体；及一个使该至少一个承载座沿该置放平面方向振动的振动单元，该振动单元包括至少一个振荡子。

而且，依照本发明揭示的一种具有振动归位梭车的半导体元件检测机台，供检测多个半导体元件，该检测机台包括：一个基座；一个形成于该基座、供置放至少一个形成有供承载多个待测半导体元件的入料盘的入料区；一个形成于该基座、供置放多个形成有供承载多个完测半导体元件的出料盘的出料区；一组具有至少一个测试座、并设置于该基座上的检测装置；至少一个对应前述至少一个测试座、并供携带前述待测半导体元件至该检测装置及携出来自该检测装置的完测半导体元件的振动归位梭车，包括：一个形成有至少一个供一个前述半导体元件沿一个置放平面置入的承载座的本体；及一个使该至少一个承载座沿该置放平面方向振动的振动单元，该振动单元包括至少一个振荡子；且该检测机台还包括：一组在该入料区、前述至少一个振动归位梭车、及该出料区间搬移前述半导体元件的移载装置；及一个供驱动该振动单元振动的控制装置。