[发明专利]液体喷射头及其制备方法

权利要求书

1.一种液体喷射头，包括：

基板，所述基板具有被配置为产生用于从孔喷射液体的能量的能量产生器件；

透明的通道壁部件，所述透明的通道壁部件形成通向所述孔的通道的内壁；以及

中间层，所述中间层被设置在所述基板的表面和所述通道壁部件之间并与它们接触，并且具有与所述通道壁部件的折射率不同的折射率；

其中，所述中间层具有第一外端面和第二外端面，所述第一外端面在从所述孔向所述基板的方向上观看时形成符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第一角度，所述第二外端面面对所述通道并与所述基板的所述表面成第二角度，所述第一角度是钝角，所述第二角度小于所述第一角度。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述通道壁部件包含固化的环氧树脂，并且所述中间层包含热塑性树脂。

3.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述通道壁部件和所述中间层各包含无机化合物。

4.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述第一角度是100°至115°，并且所述第二角度是85°至小于100°。

5.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述基板上的由所述第一外端面围绕的区域具有所述符号的形状。

6.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述中间层的具有所述第一外端面的部分具有所述符号的形状。

7.如权利要求1所述的液体喷射头，还包括透明的围绕部件，所述围绕部件围绕所述通道壁部件并具有与所述中间层的折射率不同的折射率，所述中间层被设置于所述基板的所述表面和所述围绕部件之间并与它们接触，所述第一外端面被所述围绕部件覆盖。

8.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述符号与关于所述液体喷射头的信息对应。

9.一种制备液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括：基板，所述基板具有被配置为产生用于从孔喷射液体的能量的能量产生器件；透明的通道壁部件，所述透明的通道壁部件形成通向所述孔的通道的内壁；以及中间层，所述中间层被设置在所述基板的表面和所述通道壁部件之间并与它们接触，并且具有与所述通道壁部件的折射率不同的折射率；

所述方法包括以下步骤：

准备具有表面的基板，在所述表面上依次设置用于形成所述中间层的中间材料层和用作用于蚀刻所述中间材料层的掩模的掩模材料层；

从所述掩模材料层形成掩模，所述掩模具有第三外端面和第四外端面，所述第三外端面在从所述掩模之上向所述基板的方向上观看时形成符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第三角度，所述第四外端面面对与所述通道对应的区域并与所述基板的所述表面成第四角度，所述第三角度是钝角，所述第四角度小于所述第三角度；以及

使用所述掩模蚀刻所述中间材料层以形成中间层，所述中间层具有第一外端面和第二外端面，所述第一外端面形成所述符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第一角度，所述第二外端面面对所述通道并与所述基板的所述表面成第二角度，所述第一角度是钝角，所述第二角度小于所述第一角度。

10.如权利要求9所述的制备液体喷射头的方法，其中，所述中间层具有形成第一符号的轮廓的第一外端面和形成与所述第一符号不同的第二符号的轮廓的第一外端面，所述方法还包括在形成所述第一符号的轮廓的第一外端面和形成所述第二符号的轮廓的第一外端面之间分割所述基板的步骤。

11.如权利要求9所述的制备液体喷射头的方法，其中，所述符号与关于所述液体喷射头的信息对应。