[发明专利]液体喷射头及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及液体喷射头和用于制备液体喷射头的方法。

背景技术

用于喷射液体的液体喷射头的典型例子是被应用于将墨喷射到记录介质上以执行记录的喷墨记录系统的喷墨记录头。喷墨记录头通常包括墨通道(channel)、设置在所述通道的部分中的喷射能量产生器、以及通过由喷射能量产生器产生的能量来喷射墨的微细墨孔。

为了提高具有能量产生器件的基板和形成液体通道的壁的部件之间的粘着性(adhesion)，日本专利公开No.11-348290公开了一种技术：其中，用由聚醚酰胺形成的、设置在其间的中间层来接合基板和形成通道的壁的部件。

另一方面，日本专利公开No.2009-274266公开了一种方法：其中，与关于喷墨记录头历史的信息对应的字符的空缺(blank)图案被形成于中间层中，所述中间层设置在具有能量产生器的基板和液体通道的壁之间，从而追随(follow)通道的壁。

近来，通道的图案已不断变得更微细，并且需要形成具有更微细的对应图案的中间层。鉴于例如对中间层与形成通道壁的部件之间的位置关系的约束以及中间层与形成通道壁的部件之间的接触面积，中间层可以这样被形成，使得其端面基本垂直于、或接近垂直于基板的表面。

然而，如果如日本专利公开No.2009-274266中公开的那样在中间层中形成空缺图案以显示关于喷墨记录头的信息，那么取决于在中间层上的层的透明度，可能难以视觉辨认信息显示图案的轮廓，并且可能因此难以识别所述图案。

发明内容

因此，本发明提供一种可靠的、易于识别的并且结构简单的液体喷射头(其中，在与通道壁对应的图案中以高精度形成的并具有易于识别的符号显示图案的层被设置于基板和通道壁之间)，并且还提供一种以高产量制备这样的液体喷射头的方法。

根据本发明一个方面的液体喷射头包括：基板，所述基板具有被配置为产生用于从孔喷射液体的能量的能量产生器件；透明的通道壁部件，所述透明的通道壁部件形成通向所述孔的通道的内壁；以及中间层，所述中间层被设置在所述基板的表面和所述通道壁部件之间并与它们接触，并且具有与所述通道壁部件的折射率不同的折射率。所述中间层具有第一外端面和第二外端面，所述第一外端面在从所述孔向所述基板的方向上观看时形成符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第一角度，所述第二外端面面对所述通道并与所述基板的所述表面成第二角度。所述第一角度是钝角。所述第二角度小于所述第一角度。

从参照附图对示例性实施例的以下描述，本发明的进一步的特征将变得明显。

附图说明

图1A和1B是根据本发明实施例的液体喷射头的示意性透视图。

图2A至2C是示出本发明第一实施例的示意图。

图3A和3B是示出本发明第一实施例的示意图。

图4A1至4D1以及4A2至4D2是示出本发明第二实施例的示意图。

图5是示出本发明第二实施例的示意图。

图6A和6B是示出本发明第一实施例的示意图。

图7是示出本发明第一实施例的示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来描述本发明的实施例。

根据本发明实施例的液体喷射头(以下称作“头”)可以被安装在诸如打印机、复印机、具有通信系统的传真机、具有打印机部分的字处理器、以及并入有各种类型的处理器的工业记录装置的设备上。根据本发明实施例的液体喷射头还可以被用于诸如生物芯片制造、电子电路印刷以及化学制品喷溅的应用中。

图1A是以切割后芯片形式示出的根据本发明实施例的液体喷射头的部分切去透视图。根据这个实施例的液体喷射头包括硅基板12，在所述硅基板12上，被配置为产生用于喷射墨的能量的能量产生器件2以预定节距(pitch)被并排布置成两行。基板12在所述两行能量产生器件2之间具有共用供给口13。在基板12上形成内通道壁的通道壁部件9具有位于能量产生器件2之上的孔11以及从共用供给口13通向孔11的通道14。其中形成孔11的表面可具有斥液的最后处理(liquid-repellent finish)。

这个头被这样设置，使得其中形成共用供给口13的表面面对记录介质的记录表面。所述头将由能量产生器件2产生的压力施加到通过共用供给口13填充到通道14中的诸如墨的液体，以将所述液体作为液滴(droplet)从孔11喷射到诸如纸的记录介质上，由此执行记录。