[发明专利]一种多晶硅还原炉炉筒清洗方法无效
| 申请号： | 201110213570.5 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102357493A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 冯谨;陈骏;杨刊 | 申请（专利权）人： | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 052360 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 炉炉筒 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原炉炉筒清洗方法，其特征在于其包括下述步骤：
（1）拆开多晶硅还原炉的视镜；
（2）采用高压水枪用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；
（3）用涤纶无纺布蘸取质量分数为5%-10%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在内壁停滞10-15min；
（4）采用高压水枪用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；
（5）再次用涤纶无纺布蘸取质量分数为2%-4%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在炉筒内壁停滞10-15min；
（6）采用高压水枪用去离子水炉筒内壁进行冲洗，并用氮气吹干；
（7）用无水乙醇擦拭炉筒内壁，待到乙醇挥发完全后，用干燥的涤纶无纺布再擦拭一遍。
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