[发明专利]用于制造触摸传感器面板的方法

说明书

发明领域

本发明主要涉及触摸传感器面板的制造，尤其涉及使用一种在光刻/蚀刻图案化处理过程中充当掩模并且在后续的钝化处理过程中充当钝化层的抗蚀剂(resist)来改进触摸传感器面板制造工艺的系统和方法。

背景技术

近年来，触摸传感器面板、触摸屏以及类似设备已经可被用作输入设备。特别地，由于触摸屏操作的简易性和多功能性及其价格的降低，其正在日益得到普及。触摸屏可以包括触摸传感器面板和显示设备，其中触摸传感器面板可以是具有触敏表面的透明面板，显示设备可以是LCD面板，并且可以部分或完全位于触摸传感器面板的后方，以使触敏表面可以覆盖显示设备可见区域的至少一部分。在一些设备中，触摸屏由盖体玻璃保护。触摸屏可以允许用户通过使用手指、指示笔或其他物体在显示设备显示的用户界面(UI)通常规定的位置处触摸所述触摸传感器面板来执行各种功能。通常，触摸屏可以识别触摸事件以及该触摸事件在触摸传感器面板上的定位，并且计算系统随后可以根据触摸事件时刻出现的显示来解释触摸事件，之后则可以基于触摸事件来执行一个或多个动作。

与LCD面板相似，触摸屏中的触摸传感器面板可由玻璃或其他适当的透明基底制成。在一些配置中，触摸传感器面板可被实现为由多条驱动线(例如，行)和多条感测线(例如，列)交叉形成的像素阵列，其中驱动线和感测线由介电材料分隔开。在一些触摸传感器面板中，驱动线和感测线可以在同一透明基底的顶侧和底侧上形成。在其他触摸传感器面板中，驱动线和感测线可以在透明基底的一侧上形成。所述感测线和驱动线可以由基本透明的材料例如氧化铟锡(ITO)形成，但是也可以使用其他材料。可以在透明基底的一侧或两侧沉积一个或多个ITO层。在本文中，具有双侧或单侧ITO层的触摸传感器面板分别被称为双侧ITO(DITO)触摸传感器面板和单侧ITO(SITO)触摸传感器面板。DITO和SITO触摸传感器面板被广泛由于各式各样的电子设备中，例如平板PC、数字音乐播放器、蜂窝电话以及其他无线手持设备。

制造触摸传感器面板的现有方法需要在光刻/蚀刻图案化处理和后续的钝化处理过程中执行多个印制步骤。传统的光刻/蚀刻处理由于设备和材料成本很高因而是昂贵的。由此，如果能够减少制造工艺中的印制步骤的数量，从而降低触摸传感器面板的总制造成本，那么将会是非常理想的。

发明内容

本发明涉及用于制造触摸传感器面板的方法。在一些触摸传感器面板制造工艺中，在光刻/蚀刻图案化处理过程中向面板应用光致抗蚀剂(photoresist)。在完成光刻/蚀刻图案化处理之后，所述光致抗蚀剂将被剥离。随后在后续钝化处理中应用单独的钝化层。由此，整个制造工艺冗长且低效。由于执行了多次的印制和蚀刻步骤，设备和材料成本也相对较高。本公开的实施例试图通过应用一种能够在蚀刻处理过程中充当掩模并在蚀刻处理之后继续永久性地充当钝化层的抗蚀剂来消除这些步骤中的一些步骤。这种改进的工艺可以消除现有制造工艺的多个步骤，并且可以降低设备和材料成本。

在本公开的一个实施例中，首先，可以在基底的一个或所有两个表面上沉积ITO(或其他导电材料)层以及金属层。接下来，执行光刻/蚀刻处理来图案化ITO和金属层，以便形成触摸传感器面板的驱动和感测元件，虽然在其他实施例中，可以使用除了光刻/蚀刻之外的其他处理来移除图案。前两个步骤可以与现有制造工艺中的步骤相同。然后，可以在触摸传感器面板的边缘区域之上放置抗蚀/钝化材料，以便在后续的光刻/蚀刻处理过程中保护该区域内的金属图案。这种抗蚀/钝化材料与通常使用的光致抗蚀剂的不同之处在于：这种具体的材料不但可以在光刻/蚀刻过程中充当掩模，还可以在钝化过程中充当钝化层。在将这种双用途材料放置就位之后，可以执行第二光刻/蚀刻处理，以便从面板的观看区域移除金属，虽然在其他实施例中也可以使用光刻/蚀刻之外的其他处理来移除金属。由于同一材料还可以充当钝化层，因此，可以在不需要首先移除光致抗蚀剂以及在边缘区域或是整个表面之上放置钝化层的情况下执行钝化处理。

总之，本公开的实施例可以减少触摸传感器面板制造工艺中需要的步骤数。更重要的是，通过使用单一材料作为光刻/蚀刻处理过程中的光致抗蚀剂掩模以及钝化过程中的钝化层，可以降低与制造工艺中的印制处理以及移除额外材料的处理相关联的材料成本和操作成本。结果，整个制造工艺可以更为有效，并且包含触摸传感器面板的成品设备的总成本可以降低。

附图说明

图1示出了触摸传感器面板的示例性堆叠结构。

图2-5提供了现有触摸传感器面板制造工艺的示例性步骤的逐步骤例示。