[发明专利]带双凸点的四边扁平无引脚三IC芯片封装件及其生产方法有效
申请号: | 201110215864.1 | 申请日: | 2011-07-29 |
公开(公告)号: | CN102263080A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 郭小伟;慕蔚;何文海 | 申请(专利权)人: | 天水华天科技股份有限公司;华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 鲜林 |
地址: | 741000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带双凸点 四边 扁平 引脚 ic 芯片 封装 及其 生产 方法 | ||
1.一种带双凸点的四边扁平无引脚三IC芯片封装件,包括引线框架载体、粘片胶、IC芯片、内引脚、键合线及塑封体,其特征在于所述的内引脚(4)向内延伸靠近所述的载体(1),载体(1)缩小,载体(1)上粘接有第一IC芯片(3),第一IC芯片(3)上端粘接第二IC芯片(8),第二IC芯片(8)上端粘接第三IC芯片(10);所述内引脚(4)底部凹坑(16)长度加长,每只内引脚(4)在靠近载体一侧底部形成一外露的 凸点(15),凹坑(16)的外侧底部是柱形外引脚(17),所述外露凸点(15)上面的内引脚(4)上打接第一键合线(5)、第三键合线(12)及第五键合线(13),第一键合线(5)另一端与第一IC芯片(3)焊接,第三键合线(12)另一端与第二IC芯片(8)焊接,第五键合线(13)另一端与所述第三IC芯片(10)焊接。
2.根据权利要求1所述的一种带双凸点的四边扁平无引脚三IC芯片封装件,其特征在于所述第一IC芯片(3)与第二IC芯片(8)之间连接有第二键合线(9);第二IC芯片(8)与第三IC芯片(10)之间连接有第四键合线(14)。
3.根据权利要求1或2所述的一种带双凸点的四边扁平无引脚双IC芯片封装件,其特征在于所述的内引脚(4)向内延伸0.2mm~0.8mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种带双凸点的四边扁平无引脚封装件,其特征在于所述的载体(1)缩小0.4mm~1.6mm。
5.根据权利要求1或2所述的一种带双凸点的四边扁平无引脚封装件,其特征在于所述内引脚底部的凹坑(16)长度加长0.2mm~0.5mm。
6.一种根据权利要求1所述的带双凸点的四边扁平无引脚三IC芯片封装件的生产方法,其工艺步骤如下:
a.减薄
下层的第一IC芯片(3)减薄厚度150μm,粗糙度Ra 0.08mm,粗磨与细磨相结合工艺;上层的第二IC芯片(8)和第三IC芯片(10)减薄厚度50μm~75μm,粗糙度Ra 0.05mm,粗磨、细磨,抛光防翘曲工艺;
b划片
8〞~12〞划片机:WD300TXB,下层第一IC芯片(3)采用普通QFN划片工艺,上层第二IC芯片(8)和第三IC芯片(10)采用防碎片划片工艺;
c上芯
粘片材料: 底层粘片采用膨胀系数80~195PPM/℃、低吸水率<0.15%的导
电胶或绝缘胶,二层和三层芯片采用绝缘胶,引线框架选用带双凸点的四面扁平无引脚框架,粘好一层芯片后,在175℃下,使用粘片胶烘烤工艺烘烤1小时,然后分别粘完二层和三层芯片,再在175℃下,使用粘片胶烘烤工艺烘烤2小时;
d.压焊
焊线材料选用金线,压焊采用低弧度压焊工艺,高低弧正反打线方式,焊线温度150℃~210℃;先在金线键合机上给第三IC芯片(10)和第二IC芯片(8)、第二IC芯片(8)和第一IC芯片3间焊线的焊盘上各植1 个金球,然后给第三IC芯片(10)和第二IC芯片(8)、第二IC芯片(8)和第一IC芯片(3)已植金球间打第四键合线(14)和第二键合线(9),最后给IC芯片(10)、IC芯片(8)、IC芯片(3)和对应的脚间打第一键合线(5)、键合线第三(12)和第五键合线(13);
e.塑封
采用通用QFN自动包封系统, 模温165℃~180℃,注塑压力30~35Kgf/C㎡;
f.电镀和打印
同普通QFN工艺;
g.切割
将矩阵式框架封装产品按产品设计规格切割成单个电路,经检查后,放入料盘。
7.根据权利要求6所述的带双凸点的四边扁平无引脚双IC芯片封装件的生产方法,其特征在于所述步骤c二层和三层芯片采用胶膜片(DAF膜)上芯,引线框架选用带双凸点的四面扁平无引脚框架;先在粘片机上采用导电胶或绝缘胶粘完一层芯片,在175℃下采用防离层工艺烘烤1小时,然后采用胶膜片上芯,粘好二层和三层芯片,在150℃下采用防离层工艺烘烤2.5小时。
8.根据权利要求6所述的带双凸点的四边扁平无引脚双IC芯片封装件的生产方法,其特征在于所述步骤d压焊采用铜线键合工艺:
设备:金丝球焊机和铜丝球焊机;
工具:与金线和铜线配套的劈刀线和铜线
工艺:
d.1先在金丝球焊机上,给上下层芯片打线的焊盘上各植1个金球;
d.2 在铜丝球焊机上,给上下芯片已植金球的焊盘上打第二键合线(9)和第四键合线(14);
d.3 最后从第一IC芯片(3)与内引脚间焊线开始,逐一焊线,直到打完最上层第三IC芯片(10)与内引脚间的连线。
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