[发明专利]电磁射线摄像系统及方法

权利要求书

1.一种电磁射线摄像系统，其特征在于包含：

一旋转平台模块，包含位于一水平面上的一环状结构，以相对垂直于该水平面的一垂直中心轴进行旋转；

一倾斜角控制模块，包含一旋转半框，该旋转半框的两端点分别借由一旋转枢轴连接于该环状结构上一水平直径的两端，使相对该水平直径进行旋转；

一待测物承载模块，设置于该环状结构所环绕的一中空部分，承载一待测物；

一射源模块，设置于该待测物承载模块的一第一侧，以提供一电磁射线；以及

一取像模块，设置于该旋转半框上，使该环状旋转平台模块旋转至一特定旋转角度且该倾斜角控制模块旋转至一特定倾斜角度时，该待测物承载模块的一第二侧对穿透该待测物的该电磁射线进行感测。

2.如权利要求1所述的电磁射线摄像系统，其特征在于该待测物承载模块根据该取像模块的该特定旋转角度及该特定倾斜角度进行一水平位移补偿，借由该水平位移补偿使该射源模块、该待测物以及该取像模块位于一直线上。

3.如权利要求1所述的电磁射线摄像系统，其特征在于该待测物承载模块进行一垂直位移，调整该取像模块的一取像倍率。

4.如权利要求1所述的电磁射线摄像系统，其特征在于该倾斜角控制模块的该特定倾斜角度相对该旋转平台模块的一中央位置的范围为0度至±70度。

5.如权利要求1所述的电磁射线摄像系统，其特征在于该旋转半框为一方形框或一弧形框。

6.如权利要求1所述的电磁射线摄像系统，其特征在于该电磁射线为X射线，该取像模块为一X射线感测模块，该待测物为一集成电路芯片，该取像模块是感测该集成电路芯片的一连接结构图像。

7.一种电磁射线摄像方法，应用于一电磁射线摄像系统中，其特征在于包含下列步骤：

使该电磁射线摄像系统的一旋转平台模块相对一垂直中心轴旋转至一特定旋转角度，其中旋转平台模块包含位于一水平面上的一环状结构，该垂直中心轴垂直于该水平面；

使该电磁射线摄像系统的一倾斜角控制模块相对该环状结构上一水平直径旋转至一特定倾斜角度，其中该倾斜角控制模块包含一旋转半框，其两端点分别借由一旋转枢轴连接于该水平直径的两端；

使该电磁射线摄像系统的一射源模块于设置于该环状结构所环绕的一中空部分的一待测物承载模块的一第一侧提供一电磁射线；以及

使设置于该旋转半框上的一取像模块，在该待测物承载模块的一第二侧对穿透该待测物承载模块上的一待测物的该电磁射线进行感测。

8.如权利要求7所述的电磁射线摄像方法，其特征在于更包含一步骤：使该待测物承载模块根据该取像模块的该特定旋转角度及该特定倾斜角度进行一水平位移补偿。

9.如权利要求8所述的电磁射线摄像方法，其特征在于该待测物承载模块借由该水平位移补偿使该射源模块、该待测物以及该取像模块位于一直线上。

10.如权利要求7所述的电磁射线摄像方法，其特征在于更包含一步骤：使该待测物承载模块进行一垂直位移，调整该取像模块的一取像倍率。