[发明专利]电磁射线摄像系统及方法有效
申请号: | 201110221773.9 | 申请日: | 2011-07-29 |
公开(公告)号: | CN102901739A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 陈智远;陈哲楷;蔡知典;陈世亮;温光溥 | 申请(专利权)人: | 德律科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾台北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁 射线 摄像 系统 方法 | ||
技术领域
本发明是有关于一种电磁射线摄像的装置,特别是有关于一种电磁射线摄像系统及其方法。
背景技术
集成电路芯片的连接结构常需借由焊锡或其它技术进行连接。这些连接技术是否能够稳固集成电路芯片的模块进行电性连接,将影响到运作的正常与否。因此,现有的技术常借由X射线的显影方式来对芯片进行拍摄,以得知集成电路芯片的接点状况。
然而,现有习知的摄像系统常受到机构角度的限制无法对集成电路芯片进行较全面性的取像,或在摄像模块的移动机构进行往返的拍摄时,容易产生取像画面不平顺的问题。部分技术则借由固定摄像模块,而使承载芯片的平台移动进行摄像的方式,具有不易固定待测物位置及旋转中心的缺点。
因此,如何设计一个新的电磁射线摄像系统及其方法,以克服上述的问题,是为此一业界亟待解决的问题。
由此可见,上述现有的摄像系统在方法、产品结构及使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新的电磁射线摄像系统及方法,亦成为当前业界极需改进的目标。
发明内容
本发明的目的在于,克服现有的摄像系统存在的缺陷,而提供一种新的电磁射线摄像系统及方法,所要解决的技术问题是使其提供一种电磁射线摄像系统,可借由简单机构达到大范围的取像角度的优点外,本发明内容的电磁射线摄像系统1可达到平顺取像的功效,非常适于实用。
本发明的另一目的在于,克服现有的摄像系统存在的缺陷,而提供一种新型结构的电磁射线摄像系统及方法,所要解决的技术问题是使其提供一种电磁射线摄像方法应用于电磁射线摄像系统中,从而更加适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种电磁射线摄像系统,其中包含:一旋转平台模块,包含位于一水平面上的一环状结构,以相对垂直于该水平面的一垂直中心轴进行旋转;一倾斜角控制模块,包含一旋转半框,该旋转半框的两端点分别借由一旋转枢轴连接于该环状结构上一水平直径的两端,使相对该水平直径进行旋转;一待测物承载模块,设置于该环状结构所环绕的一中空部分,承载一待测物;一射源模块,设置于该待测物承载模块的一第一侧,以提供一电磁射线;以及一取像模块,设置于该旋转半框上,使该环状旋转平台模块旋转至一特定旋转角度且该倾斜角控制模块旋转至一特定倾斜角度时,该待测物承载模块的一第二侧对穿透该待测物的该电磁射线进行感测。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的电磁射线摄像系统,其中所述的该待测物承载模块根据该取像模块的该特定旋转角度及该特定倾斜角度进行一水平位移补偿,借由该水平位移补偿使该射源模块、该待测物以及该取像模块位于一直线上。
前述的电磁射线摄像系统,其中所述的该待测物承载模块进行一垂直位移,调整该取像模块的一取像倍率。
前述的电磁射线摄像系统,其中所述的该倾斜角控制模块的该特定倾斜角度相对该旋转平台模块的一中央位置的范围为0度至±70度。
前述的电磁射线摄像系统,其中所述的该旋转半框为一方形框或一弧形框。
前述的电磁射线摄像系统,其中所述的该电磁射线为X射线,该取像模块为一X射线感测模块,该待测物为一集成电路芯片,该取像模块是感测该集成电路芯片的一连接结构图像。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种电磁射线摄像方法,应用于一电磁射线摄像系统中,其中包含下列步骤:使该电磁射线摄像系统的一旋转平台模块相对一垂直中心轴旋转至一特定旋转角度,其中旋转平台模块包含位于一水平面上的一环状结构,该垂直中心轴垂直于该水平面;使该电磁射线摄像系统的一倾斜角控制模块相对该环状结构上一水平直径旋转至一特定倾斜角度,其中该倾斜角控制模块包含一旋转半框,其两端点分别借由一旋转枢轴连接于该水平直径的两端;使该电磁射线摄像系统的一射源模块于设置于该环状结构所环绕的一中空部分的一待测物承载模块的一第一侧提供一电磁射线;以及使设置于该旋转半框上的一取像模块,在该待测物承载模块的一第二侧对穿透该待测物承载模块上的一待测物的该电磁射线进行感测。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的电磁射线摄像方法,其中所述的更包含一步骤:使该待测物承载模块根据该取像模块的该特定旋转角度及该特定倾斜角度进行一水平位移补偿。
前述的电磁射线摄像方法,其中所述的该待测物承载模块借由该水平位移补偿使该射源模块、该待测物以及该取像模块位于一直线上。
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