[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及半导体装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、可作为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑及聚苯并噻唑组成的组中的至少一种树脂：100质量份、

(B)嘌呤衍生物：以100质量份该(A)树脂为基准为0.01～10质量份、以及

(C)感光剂：以100质量份该(A)树脂为基准为1～50质量份。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)树脂为选自由具有下述通式(1)所示结构的聚酰亚胺前体、具有下述通式(3)所示结构的聚酰胺、具有下述通式(4)所示结构的聚噁唑前体、及具有下述通式(5)所示结构的聚酰亚胺组成的组中的至少一种树脂，

式(1)中，X₁为4价的有机基团，Y₁为2价的有机基团，n₁为2～150的整数，并且R₁及R₂分别独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的1价的有机基团、或碳原子数1～4的饱和脂肪族基团，

式(2)中，R₃、R₄及R₅分别独立地为氢原子或碳原子数1～3的有机基团，并且m₁为2～10的整数，

式(3)中，X₂为碳原子数6～15的3价的有机基团，Y₂为碳原子数6～35的2价的有机基团，并且可以为同一结构或具有多个结构，R₆为碳原子数3～20的具有至少一个自由基聚合性的不饱和键基的有机基团，并且n₂为1～1000的整数，

式(4)中，Y₃为具有2个以上碳原子的4价的有机基团，Y₄、X₃及X₄分别独立地为具有2个以上碳原子的2价的有机基团，n₃为1～1000的整数，n₄为0～500的整数，n₃/(n₃+n₄)＞0.5，并且包含X₃及Y₃的n₃个的二羟基二酰胺单元以及包含X₄及Y₄的n₄个的二酰胺单元的排列顺序不限，

式(5)中，X₅表示4～14价的有机基团，Y₅表示2～12价的有机基团，R₇及R₈分别独立地表示具有至少一个选自酚性羟基、磺酸基或硫醇基中的基团的有机基团，n₅为3～200的整数，m₂及m₃表示0～10的整数。