[发明专利]用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具

权利要求书

1.用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。

2.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压条横跨通孔。

3.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，还包括压框，所述压条安装于压框上；所述压框可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。

4.根据权利要求3所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压框形状与支撑框形状相适应；所述压框与连杆可拆卸连接。

5.根据权利要求3所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述提架包括两根连杆和一根横杆；两根连杆分别有一端与支撑框连接，另一端通过横杆连接；所述压框可沿连杆移动卡设于两根连杆上。

6.根据权利要求5所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述支撑框设置有与连杆相配合的两个开口；两根连杆分别与两个开口相配合。

7.根据权利要求3或5所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压框上设置有限位块，限位块位于压框与支撑框之间。

8.根据权利要求7所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述限位块可拆卸地安装在压框上。

9.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，还包括用于放置硅片的片架，所述片架设置在通孔内。