[发明专利]用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具。

背景技术

硅片在研磨后的腐蚀工艺主要有酸腐蚀和碱腐蚀两种。较酸腐蚀而言，碱腐蚀主要优点为加工成本低，环境污染小特点。对于小尺寸产品(3～5寸)，多半采用碱腐蚀工艺。

碱腐蚀工艺中比较难控制的是硅片在腐蚀过程中的漂浮状态以及腐蚀后硅片表面碱液冲洗。为了控制硅片在碱腐蚀过程的漂浮高度和便于清洗，需要把硅片放在合适的夹具中。碱腐蚀中常用的一种夹具是片架和花篮的组合。如图1所示为花篮结构示意图。其结构包括支撑框1和提架2。支撑框1设置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一连杆21和第二连杆22。第一连杆21和第二连杆22均为一端与支撑框1连接，另一端通过横杆23连接。横杆23两端分别设置有第一螺母24和第二螺母25。如图2所示为一种片架3结构示意图。使用时，硅片放置于片架3内。四个片架3分别放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。再将夹具放入碱液内对硅片进行碱腐蚀处理。这种夹具存在的最大问题是不能控制硅片的漂浮状态，导致硅片表面部分过度腐蚀或腐蚀不足，这个问题严重影响了碱腐蚀成品率。使用这种提篮进行碱腐蚀时，良率约为99.2％。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种用于硅片碱腐蚀加工，可控制硅片在碱腐蚀过程的漂浮高度的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。

优选地是，所述压条横跨通孔。

优选地是，还包括压框，所述压条安装于压框上；所述压框可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。

优选地是，所述压框形状与支撑框形状相适应；所述压框与连杆可拆卸连接。

优选地是，所述提架包括两根连杆和一根横杆；两根连杆分别有一端与支撑框连接，另一端通过横杆连接；所述压框可沿连杆移动卡设于两根连杆上。

优选地是，所述支撑框设置有与连杆相配合的两个开口；两根连杆分别与两个开口相配合。

优选地是，所述压框上设置有限位块，限位块位于压框与支撑框之间。

优选地是，所述限位块可拆卸地安装在压框上。

优选地是，还包括用于放置硅片的片架，所述片架设置在通孔内。

本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上。调整压框的位置时，只需沿着连杆推动压框即可，调整方便。压框上安装有限位块，限制压框的移动距离，可防止用力过大时压坏硅片。限位块可拆卸安装在压框上，方便更换。利用压条限制硅片的漂浮，压条采用圆柱形时可避免阻挡冲洗液，不会妨碍冲洗硅片。本发明结构简单，使用方便，制造成本低。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8％以上。

附图说明

图1为一种提篮结构示意图。

图2为一种片架结构示意图。

图3为本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具结构示意图。

图4为本发明中的压框结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细的描述：

如图3、图4所示，用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其结构包括支撑框1和提架2。支撑框1为长方形形状。支撑框1设置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一连杆21和第二连杆22。第一连杆21和第二连杆22均为一端与支撑框1连接，另一端通过横杆23连接。横杆23两端分别设置有第一螺母24和第二螺母25。