[发明专利]电控操作器有效
申请号: | 201110234386.9 | 申请日: | 2011-08-16 |
公开(公告)号: | CN102935942A | 公开(公告)日: | 2013-02-20 |
发明(设计)人: | 吴良辉 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 魏小薇 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 操作 | ||
1.一种电控操作器,包括:
基盘;
与基盘耦接的第一爪组,所述第一爪组包括至少三个爪,所述第一爪组中的爪被配置为能够协同地抓取物体并且能够协同地松开物体;
与基盘耦接的第二爪组,所述第二爪组包括至少三个爪,所述第二爪组中的爪被配置为能够协同地抓取物体并且能够协同地松开物体;
其中,所述第一爪组和第二爪组被分别地控制,使得在所述第一爪组和第二爪组中的一组协同地抓取物体时,另一组处于松开物体的状态,以及
所述第一爪组和第二爪组被配置为从所述基盘的同一表面侧抓取物体。
2.如权利要求1所述的电控操作器,其中
所述第一爪组中的爪与所述第二爪组中的爪被交替地布置在所述基盘上。
3.如权利要求1所述的电控操作器,其中
所述爪围绕所述基盘被布置,所述第一爪组中的相邻爪之间具有相等的角度,所述第二爪组中的相邻爪之间具有相等的角度。
4.如权利要求1所述的电控操作器,其中
所述第一爪组和第二爪组中的每一个被配置为通过回缩而协同地抓取物体并且通过伸出而协同地松开物体。
5.如权利要求4所述的电控操作器,其中
所述爪中的每一个经由相应的气缸与所述基盘耦接,并且包括与该气缸相连的爪臂,以及
取决于所述爪臂在气缸中的位置,相应的爪处于回缩状态或者伸出状态。
6.如权利要求5所述的电控操作器,还包括:
阀,所述阀被配置为控制所述爪臂在气缸中的位置;和
控制器,被配置为利用控制信号来控制所述阀,以便控制所述爪臂在气缸中的位置。
7.如权利要求5所述的电控操作器,其中
每个所述爪臂与所述基盘之间连接有弹性部件。
8.如权利要求6所述的电控操作器,其中
所述阀具有第一通路和第二通路,所述第一通路用来控制所述第一爪组中的爪的爪臂在气缸中的位置,所述第二通路用来控制所述第二爪组中的爪的爪臂在气缸中的位置。
9.如权利要求6所述的电控操作器,其中
所述阀是电磁阀。
10.如权利要求1所述的电控操作器,其中
所述爪中的每一个具有爪末端,所述爪末端在基盘侧具有凹陷。
11.如权利要求6所述的电控操作器,还包括:
爪臂位置传感器,所述爪臂位置传感器中的每一个与一个爪臂对应,用于感测该爪臂在气缸中的位置。
12.如权利要求11所述的电控操作器,还包括:
告警装置,当所述爪臂位置传感器感测的爪臂在气缸中的位置与所述控制信号所指示的爪臂在气缸中的位置不一致时,所述告警装置能够发出告警信号。
13.如权利要求1-12中的任一项所述的电控操作器,其中
所述基盘具有圆形形状,所述第一爪组包括三个爪,所述第二爪组包括三个爪,所述爪中的每一个沿所述基盘的径向延伸,并且,所述物体是晶片。
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