[发明专利]薄膜带电体传感器及显示设备

权利要求书

1.一种薄膜带电体传感器，包括：

基板；

位于所述基板上的第一薄膜晶体管单元，所述第一薄膜晶体管单元包括栅极层、与所述栅极层绝缘的有源层，以及与所述栅极层绝缘并连接至所述有源层的源/漏极层；以及

位于所述基板上的薄膜触角单元，所述薄膜触角单元包括电连接至所述栅极层且具有导电材料的第一膜，所述薄膜触角单元适于响应于带电体的电场而产生输入电流。

2.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述第一膜和所述栅极层包括相同的材料。

3.根据权利要求2所述的薄膜带电体传感器，其中所述第一膜整体连接至所述栅极层。

4.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述第一膜从所述栅极层延伸。

5.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述第一膜和所述源/漏极层包括相同的材料。

6.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，进一步包括第二薄膜晶体管单元，

其中所述第一膜电连接至所述第二薄膜晶体管单元的栅极层。

7.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述薄膜触角单元进一步包括具有导电材料的第二膜，所述第二膜与所述第一膜绝缘。

8.根据权利要求7所述的薄膜带电体传感器，进一步包括第二薄膜晶体管单元，

其中所述第二膜电连接至所述第二薄膜晶体管单元的栅极层。

9.根据权利要求7所述的薄膜带电体传感器，进一步包括第二薄膜晶体管单元，

其中所述第二膜电连接至所述第二薄膜晶体管单元的源/漏极层。

10.根据权利要求7所述的薄膜带电体传感器，其中所述薄膜触角单元进一步包括与所述第一膜绝缘且具有导电材料的第三膜。

11.根据权利要求10所述的薄膜带电体传感器，其中所述第二膜和所述第三膜彼此电连接。

12.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中提供多个所述薄膜触角单元，并且多个所述薄膜晶体管单元分别连接至所述多个薄膜触角单元。

13.根据权利要求12所述的薄膜带电体传感器，其中所述多个薄膜触角单元以不同的方向在执行检测操作的面板上延伸。

14.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，进一步包括覆盖所述薄膜触角单元的绝缘层。

15.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述有源层包括氧化物半导体。

16.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述栅极层位于所述有源层下方。

17.根据权利要求1所述的薄膜带电体传感器，其中所述栅极层位于所述有源层上方。

18.一种显示设备，包括：

显示面板；以及

薄膜带电体传感器，所述薄膜带电体传感器包括：

基板，

位于所述基板上的第一薄膜晶体管单元，所述第一薄膜晶体管单元包括栅极层、与所述栅极层绝缘的有源层以及与所述栅极层绝缘并连接至所述有源层的源/漏极层，以及

位于所述基板上的薄膜触角单元，所述薄膜触角单元包括电连接至所述栅极层且具有导电材料的第一膜，所述薄膜触角单元适于响应于带电体的电场而产生输入电流。

19.根据权利要求18所述的显示设备，其中所述第一膜整体连接至所述栅极层。

20.根据权利要求18所述的显示设备，其中所述第一膜从所述栅极层延伸。