[发明专利]薄膜带电体传感器及显示设备

说明书

技术领域

实施例涉及用于检测带电体的接触或非接触移动的带电体传感器，并且更具体地，涉及具有多个薄膜被堆叠在其中的结构的薄膜带电体传感器。

背景技术

用于检测触摸的接触型输入方法更广泛应用于诸如移动电话之类的小型显示设备中。这种接触型输入方法还应用于诸如电视(TV)之类的大型显示设备中。

在传统的显示设备中，在显示设备上形成并安装基于传统的接触型输入方法来检测触摸的独立传感器，并且这种结构非常复杂，且其制造成本相对较高。而且，由于这种传统传感器仅在用户使用其手指等直接触摸操纵单元时才可以检测到触摸，因此一般很难体验到操纵的平滑感觉，并且用户在长时间使用操纵单元时会感觉到其手指关节的压力。

发明内容

实施例的特征在于，提供一种可以在一般平板显示设备的薄膜堆叠工艺期间整体制造的薄膜带电体传感器。

实施例的独立特征在于，提供一种可以在接触状态和非接触状态期间检测用户的操作的薄膜带电体传感器。

实施例的独立特征在于，提供一种可以使用可用于形成一般平板显示设备的薄膜堆叠工艺而制造，并且可以使得能够在接触状态和非接触状态下检测用户的操作的薄膜带电体传感器。

以上及其它特征和优点中至少之一可以通过提供一种薄膜带电体传感器来实现，所述薄膜带电体传感器包括：基板；位于所述基板上的第一薄膜晶体管单元，包括栅极层、与所述栅极层绝缘的有源层，以及与所述栅极层绝缘并连接至所述有源层的源/漏极层；以及位于所述基板上的薄膜触角单元，包括电连接至所述栅极层且具有导电材料的第一膜，所述薄膜触角单元适于响应于带电体的电场而产生输入电流。

所述第一膜和所述栅极层可以包括相同的材料。

所述第一膜可以整体连接至所述栅极层。

所述第一膜可以从所述栅极层延伸。

所述第一膜和所述源/漏极层可以包括相同的材料。

所述传感器可以进一步包括第二薄膜晶体管单元，其中所述第一膜电连接至所述第二薄膜晶体管单元的栅极层。

所述薄膜触角单元可以进一步包括具有导电材料的第二膜，所述第二膜与所述第一膜绝缘。

所述传感器可以进一步包括第二薄膜晶体管单元，其中所述第二膜可以电连接至所述第二薄膜晶体管单元的栅极层。

所述传感器可以进一步包括第二薄膜晶体管单元，其中所述第二膜可以电连接至所述第二薄膜晶体管单元的源/漏极层。

所述薄膜触角单元可以进一步包括与所述第一膜绝缘且包括导电材料的第三膜。

所述第二膜和所述第三膜可以彼此电连接。

可以提供多个所述薄膜触角单元，并且多个所述薄膜晶体管单元可以分别连接至所述多个薄膜触角单元。

所述多个薄膜触角单元可以以不同的方向在执行检测操作的面板上延伸。

所述传感器可以进一步包括覆盖所述薄膜触角单元的绝缘层。

所述有源层可以包括氧化物半导体。

所述栅极层可以位于所述有源层下方。

所述栅极层可以位于所述有源层上方。

以上及其它特征和优点中至少之一可以通过提供一种显示设备来实现，所述显示设备包括：显示面板；以及薄膜带电体传感器，所述薄膜带电体传感器包括：基板，位于所述基板上的第一薄膜晶体管单元，所述第一薄膜晶体管单元包括栅极层、与所述栅极层绝缘的有源层以及与所述栅极层绝缘并连接至所述有源层的源/漏极层，以及位于所述基板上的薄膜触角单元，所述薄膜触角单元包括电连接至所述栅极层且具有导电材料的第一膜，所述薄膜触角单元适于响应于带电体的电场而产生输入电流。

所述第一膜可以整体连接至所述栅极层。

所述第一膜可以从所述栅极层延伸。

附图说明

对于本领域普通技术人员来说，以上及其它特征和优点将通过参照附图对示例性实施例进行详细描述而变得更加明显，附图中：

图1A和图1B分别示出根据示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图和俯视图；

图2示出根据另一示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图；

图3示出根据另一示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图；

图4示出根据另一示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图；

图5示出根据另一示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图；

图6示出根据另一示例性实施例的薄膜带电体传感器的截面图；