[发明专利]甩版清洗机及光刻版的清洗方法

权利要求书

1.一种甩版清洗机，其特征在于，包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、 光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；

所述驱动装置通过转轴与所述光刻版夹持装置连接，所述甩版清洗机控制 电路与所述驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制所述驱 动装置驱动光刻版夹持装置绕所述转轴旋转，还用于控制所述出水阀、出气阀 的开关以及控制加热装置加热；

所述管线包括水管和气管，所述出水阀通过水管与喷水头连接，所述喷水 头用于将清洗用液体喷射在光刻版夹持装置夹持的光刻版上；所述出气阀通过 气管顺次与加热装置和喷气头连接，所述喷气头用于将被加热装置加热后的气 体喷向所述光刻版。

2.根据权利要求1所述的甩版清洗机，其特征在于，还包括用于容置光刻 版夹持装置的容置腔，所述容置腔的底部开设有排水口和用于供所述转轴通过 的转轴口。

3.根据权利要求2所述的甩版清洗机，其特征在于，所述容置腔包括开设 有圆环槽的上盖和圆柱形的腔体，所述上盖盖合于所述腔体的顶部；所述上盖 开设有位于圆环槽内的圆孔，所述上盖还包括导轨和可沿所述导轨滑动的透明 拉门。

4.根据权利要求3所述的甩版清洗机，其特征在于，所述腔体的材质为不 锈钢。

5.根据权利要求1所述的甩版清洗机，其特征在于，所述光刻版夹持装置 为十字形结构，所述十字形结构的中心与所述转轴连接，所述十字形结构的四 端均设有夹持部，所述夹持部开设有与方形的光刻版四个角配合的直角缺口。

6.根据权利要求5所述的甩版清洗机，其特征在于，所述夹持部采用弹性 材质，与光刻版为过盈配合。

7.根据权利要求6所述的甩版清洗机，其特征在于，所述夹持部的材质为 特氟龙。

8.根据权利要求1所述的甩版清洗机，其特征在于，所述甩版清洗机控制 电路包括开关(S1)、第一继电器、第二继电器、转速控制器(118)、冲水定时 器(T1)以及甩干定时器(T2)；所述甩版清洗机控制电路还包括所述冲水定时 器相应配备的常开触点(T11)和常闭触点(T12)，以及所述甩干定时器相应配 备的常闭触点(T22)；所述第一继电器和第二继电器均包括线圈和触点；所述 转速控制器(118)用于控制所述驱动装置的转速；

所述开关(S1)、第一继电器的线圈(CR10)以及冲水定时器的常闭触点 (T22)串联于火线与零线之间；

所述第一继电器的触点(CR13)用于控制第一单元的上电，所述第一单元 包括所述冲水定时器(T1)、第二继电器的线圈(CR20)以及转速控制器(118)， 且所述第二继电器的线圈(CR20)与所述甩干定时器相应配备的常闭触点(T12) 串联；

所述第二继电器的触点(CR27)用于控制所述出水阀的上电；

所述冲水定时器相应配备的常开触点(T11)用于控制第二单元的上电，所 述第二单元包括所述甩干定时器(T2)、出气阀以及加热装置。

9.一种光刻版的清洗方法，其特征在于，采用甩版清洗机进行清洗，所述 甩版清洗机包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、 喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；所述甩版清洗机控制电路与所 述驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制所述驱动装置驱 动光刻版夹持装置绕转轴旋转，控制所述出水阀、出气阀的开关以及控制加热 装置加热；所述管线包括水管和气管，所述出水阀通过水管与喷水头连接，所 述喷水头用于将清洗用液体喷射在光刻版夹持装置夹持的光刻版上；所述出气 阀通过气管顺次与加热装置和喷气头连接，所述喷气头用于将加热装置加热后 的气体喷向所述光刻版；

所述清洗方法包括冲水步骤和甩干步骤，所述冲水步骤是通过所述甩版清 洗机控制电路控制驱动装置将光刻版夹持装置的转速维持在700～900转/分钟， 同时控制所述出水阀打开以通过喷水头喷射清洗用液体对光刻版进行清洗；所 述甩干步骤是通过所述甩版清洗机控制电路控制驱动装置将光刻版夹持装置的 转速维持在2000～2400转/分钟，同时控制所述出气阀打开以通过加热装置将气 体加热到180～220℃，通过喷气头喷出加热后的气体对光刻版进行烘干。