[发明专利]甩版清洗机及光刻版的清洗方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及半导体制造设备，尤其涉及一种甩版清洗机。

【背景技术】

光刻掩膜版(mask，以下简称光刻版)在使用后需要定期进行清洗。

传统的洗版机是通过两排软质毛刷分别对光刻版的正反两面进行刷洗，通 过电机、齿轮等部件实现上下往复运动，同时电磁阀控制去离子水进行冲洗。

洗好的光刻版表面残留有水渍，需要用花篮装好放到高温烘箱烘干，但即 使烘干后仍有可能有水印留在光刻版表面，影响下一次的光刻质量。甚至在送 到烘箱的过程中有二次玷污的可能，有较大质量隐患。另外，清洗+烘箱烘干需 要较长的时间，影响生产效率。

【发明内容】

基于此，有必要提供一种能将光刻版清洗干净，且效率较高的甩版清洗机。

一种甩版清洗机，包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、 出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；所述驱动装置通过转 轴与所述光刻版夹持装置连接，所述甩版清洗机控制电路与所述驱动装置、出 水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制所述驱动装置驱动光刻版夹持装 置绕所述转轴旋转，还用于控制所述出水阀、出气阀的开关以及控制加热装置 加热；所述管线包括水管和气管，所述出水阀通过水管与喷水头连接，所述喷 水头用于将清洗用液体喷射在光刻版夹持装置夹持的光刻版上；所述出气阀通 过气管顺次与加热装置和喷气头连接，所述喷气头用于将被加热装置加热后的 气体喷向所述光刻版。

优选的，还包括用于容置光刻版夹持装置的容置腔，所述容置腔的底部开 设有排水口和用于供所述转轴通过的转轴口。

优选的，所述容置腔包括开设有圆环槽的上盖和圆柱形的腔体，所述上盖 盖合于所述腔体的顶部；所述上盖开设有位于圆环槽内的圆孔，所述上盖还包 括导轨和可沿所述导轨滑动的透明拉门。

优选的，所述腔体的材质为不锈钢。

优选的，所述光刻版夹持装置为十字形结构，所述十字形结构的中心与所 述转轴连接，所述十字形结构的四端均设有夹持部，所述夹持部开设有与方形 的光刻版四个角配合的直角缺口。

优选的，所述夹持部采用弹性材质，与光刻版为过盈配合。

优选的，所述夹持部的材质为特氟龙。

优选的，所述甩版清洗机控制电路包括开关(S1)、第一继电器、第二继电 器、转速控制器(118)、冲水定时器(T1)以及甩干定时器(T2)；所述甩版清 洗机控制电路还包括所述冲水定时器相应配备的常开触点(T11)和常闭触点 (T12)，以及所述甩干定时器相应配备的常闭触点(T22)；所述第一继电器和 第二继电器均包括线圈和触点；所述转速控制器(118)用于控制所述驱动装置 的转速；所述开关(S1)、第一继电器的线圈(CR10)以及冲水定时器的常闭触 点(T22)串联于火线与零线之间；所述第一继电器的触点(CR13)用于控制 第一单元的上电，所述第一单元包括所述冲水定时器(T1)、第二继电器的线圈 (CR20)以及转速控制器(118)，且所述第二继电器的线圈(CR20)与所述甩 干定时器相应配备的常闭触点(T12)串联；所述第二继电器的触点(CR27) 用于控制所述出水阀的上电；所述冲水定时器相应配备的常开触点(T11)用于 控制第二单元的上电，所述第二单元包括所述甩干定时器(T2)、出气阀以及加 热装置。

还有必要提供一种光刻版的清洗方法。