[发明专利]蒸镀方法与蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀方法，包括：

使一第一气体与一第二气体以临界流的状态进入第一腔室并混合；

使混合后的该第一气体与该第二气体从该第一腔室进入一第二腔室；以及

使该第二腔室内的混合后的该第一气体与该第二气体离开该第二腔室。

2.如权利要求1所述的蒸镀方法，其中该第一气体是由一第一靶材加热形成。

3.如权利要求1所述的蒸镀方法，其中该第二气体是由一第二靶材加热形成。

4.如权利要求1所述的蒸镀方法，其中混合后的该第一气体与该第二气体是以临界流的状态从该第一腔室进入该第二腔室。

5.如权利要求1所述的蒸镀方法，其中混合后的该第一气体与该第二气体是以临界流的状态离开该第二腔室。

6.如权利要求1所述的蒸镀方法，还包括引入一鞘层气体至该第二腔室，并以该鞘层气体产生强制对流而将混合后的该第一气体与该第二气体带离该第二腔室。

7.如权利要求1所述的蒸镀方法，还包括使一第三气体、该第一气体与一第二气体在该第一腔室混合；

使混合后的该第一气体、该第二气体与该第三气体从该第一腔室进入该第二腔室；以及

使该第二腔室内的混合后的该第一气体、该第二气体与该第三气体离开该第二腔室。

8.一种蒸镀设备，包括：

腔体，具有第一腔室、第二腔室、出口、连通口、至少一第一入口与至少一第二入口，其中该连通口连接该第一腔室与该第二腔室，该出口位于该第二腔室；

至少一第一蒸镀源，配置于该第一入口；以及

至少一第二蒸镀源，配置于该第二入口，其中该第一蒸镀源提供的一第一气体经由该第一入口进入该第一腔室，该第二蒸镀源提供的一第二气体经由该第二入口进入该第一腔室，进入该第一腔室的该第一气体与该第二气体在该第一腔室内混合后，经由该连通口进入该第二腔室，再经由该出口离开该第二腔室。

9.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该至少一第一入口、该至少一第二入口、该至少一第一蒸镀源与该至少一第二蒸镀源的数量分别为多个。

10.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该出口为狭缝型开口。

11.如权利要求10所述的蒸镀设备，其中该出口的宽度介于0.8毫米至3.2毫米。

12.如权利要求8所述的蒸镀设备，还包括至少一第三蒸镀源，其中该腔体还具有至少一第三入口，该第三蒸镀源配置于该第三入口，该第一气体、该第二气体与该第三蒸镀源提供的一第三气体在该第一腔室内混合后，经由该连通口进入该第二腔室，再经由该出口而离开该第二腔室。

13.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该腔体还具有至少一第三入口，用以供一鞘层气体经由该第三入口进入该第二腔室，并以该鞘层气体产生强制对流而将混合后的该第一气体与该第二气体经由该出口带离该第二腔室。

14.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该第一入口与该第二入口的孔径介于0.1毫米至1.2毫米。

15.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该连通口的孔径介于1毫米至2.4毫米。