[发明专利]蒸镀方法与蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀物方法与镀物设备，且特别是涉及一种蒸镀方法与蒸镀设备。

背景技术

有机电激发光显示装置是一种自发光型的显示装置，无需使用背光模块，故可省去背光模块的制造成本以及背光模块本身所消耗的能源。此外，由于有机电激发光显示装置无视角问题，且具有全彩化、高应答速度等特性，故有机电激发光显示装置已经成为一种兼具性能及环保概念的平面显示装置。相似地，太阳能电池也因属环保能源而成为热门的明星商品。

在有机电激发光显示装置及太阳能电池的制造上，多成分蒸镀的良率为影响发光均匀及太阳能电池效率的关键。然而，不同的有机材料蒸发(升华)温度不同，浓度及成分比例控制困难，且需避免材料裂解或化学反应。此外，不同的有机材料蒸发(升华)分子扩散速率不同，且无一定方向性，因此成分比例控制不易，且材料利用率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀设备，可精确控制蒸镀材料的成分比例。

本发明另一目的在于提供一种蒸镀方法，可精确控制蒸镀材料的成分比例。

为达上述目的，本发明的蒸镀方法包括下列步骤。使一第一气体与一第二气体在一第一腔室混合。使混合后的第一气体与第二气体从第一腔室进入一第二腔室。使第二腔室内的混合后的第一气体与第二气体离开第二腔室。

在本发明的一实施例中，第一气体是由一第一靶材加热形成。

在本发明的一实施例中，第一气体与第二气体是以临界流的状态进入第一腔室。

在本发明的一实施例中，混合后的第一气体与第二气体是以临界流的状态从第一腔室进入第二腔室。

在本发明的一实施例中，混合后的第一气体与第二气体是以临界流的状态离开第二腔室。

在本发明的一实施例中，蒸镀方法还包括引入一鞘层气体(sheath gas)至第二腔室，并以鞘层气体产生强制对流而将混合后的第一气体与第二气体带离第二腔室。

在本发明的一实施例中，蒸镀方法还包括下列步骤。使一第三气体、第一气体与一第二气体在第一腔室混合。使混合后的第一气体、第二气体与第三气体从第一腔室进入第二腔室。使第二腔室内的混合后的第一气体、第二气体与第三气体离开第二腔室。

本发明的蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。连通口连接第一腔室与第二腔室，出口位于第二腔室。第一蒸镀源配置于第一入口，第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提供的一第一气体经由第一入口进入第一腔室。第二蒸镀源提供的一第二气体经由第二入口进入第一腔室。进入第一腔室的第一气体与第二气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。

在本发明的一实施例中，至少一第一入口、至少一第二入口、至少一第一蒸镀源与至少一第二蒸镀源的数量分别为多个。

在本发明的一实施例中，出口为狭缝型开口。此外，出口的宽度例如介于0.8毫米至3.2毫米。

在本发明的一实施例中，蒸镀设备还包括至少一第三蒸镀源。腔体还具有至少一第三入口，第三蒸镀源配置于第三入口。第一气体、第二气体与第三蒸镀源提供的一第三气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。

在本发明的一实施例中，腔体还具有至少一第三入口，用以供一鞘层气体(sheath gas)经由第三入口进入第二腔室，并以鞘层气体产生强制对流而将混合后的第一气体与第二气体经由出口带离第二腔室。

在本发明的一实施例中，第一入口与第二入口的孔径介于0.1毫米至1.2毫米。

在本发明的一实施例中，连通口的孔径介于1毫米至2.4毫米。

基于上述，在本发明的蒸镀方法与蒸镀设备中，蒸镀气体先在第一腔室以特定比例充分混合后，再进入第二腔室并从出口离开第二腔室。因此，可精确控制镀膜的成分比例。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明一实施例的蒸镀设备的剖面示意图；

图2是图1的蒸镀设备的立体示意图。

主要元件符号说明

50：待镀物

100：蒸镀设备

110：腔体

112：第一腔室

114：第二腔室114

116：出口

118：连通口

120：第一蒸镀源

130：第二蒸镀源