[发明专利]音叉型水晶振动片及水晶装置

权利要求书

1.一种音叉型水晶振动片，该音叉型水晶振动片收放在包装件的内部并接合在所述包装件的内部的连接电极上，其特征在于，包含：

具有励振电极并向规定方向延伸的一对振动臂；

与所述一对振动臂连结的基部；

在所述一对振动臂的两外侧从所述基部向所述规定方向延伸的一对支撑臂；以及

从所述一对支撑臂的前端区域引出至所述励振电极的引出电极，

所述励振电极由Cr、Ni、Ti、Al及W中的至少一种的第1金属膜和形成在所述第1金属膜上的Au或Ag中的至少一种的第2金属膜的两层构成，

所述引出电极由Cr、Ni、Ti、Al及W中的至少一种的第3金属膜和形成在所述第3金属膜上的Au或Ag中的至少一种的第4金属膜的四层构成。

2.根据权利要求1所述的音叉型水晶振动片，其特征在于，

所述第2金属膜的膜厚为40nm至60nm，

所述第4金属膜的膜厚为60nm以上。

3.一种水晶装置，其特征在于，具有：

权利要求1或权利要求2所述的音叉型水晶振动片；以及

形成在所述包装件内并与所述励振电极连接的外部电极。

4.一种音叉型水晶振动片，该音叉型水晶振动片包含与具有连接电极的基板的外周接合的外框，其特征在于，具有：

与所述外框连结的一对支撑臂；

与所述一对支撑臂连结的基部；

在所述一对支撑臂的内侧从所述基部延伸并形成有励振电极的一对振动臂；以及

与所述励振电极导通，形成在所述基部、所述支撑臂及所述外框上的引出电极，

所述励振电极由Cr、Ni、Ti、Al及W中的至少一种的第1金属膜和形成在所述第1金属膜上的Au或Ag中的至少一种的第2金属膜的两层构成，

所述引出电极及连接电极由形成在所述第2金属膜的上面的Cr、Ni、Ti、Al及W中的至少一种的第3金属膜和形成在所述第3金属膜上的Au或Ag中的至少一种的第4金属膜的四层构成。

5.一种水晶装置，其特征在于，具有：

权利要求4所述的音叉型水晶振动片；

与所述外框的一面接合的基板；以及

与所述外框的另一面接合的盖。