[发明专利]测量掩模板保护膜的工具及方法

权利要求书

1.一种测量掩模板保护膜的工具及方法，一掩模板盒具有一盒盖、一底座板和一支架，所述支架固定在底座板上，将一掩模板固定在所述支架上，其特征在于，一测量工具的一侧表面形成有刻度，所述测量工具的另一侧表面具有两直角卡槽，通过两直角卡槽将测量工具固定在底座板上，使测量工具位于掩模板的一侧，且使测量工具与掩模板的一侧边缘平行，以对掩模板的图形保护膜进行测量。

2.根据权利要求1所述的测量掩模板保护膜的工具及方法，其特征在于，所述掩模板包括石英板主体和所述图形保护膜。

3.根据权利要求1所述的测量掩模板保护膜的工具及方法，其特征在于，采用直尺作为所述测量工具。

4.根据权利要求1所述的测量掩模板保护膜的工具及方法，其特征在于，将测量工具固所述底座板上使所述测量工具的刻度的零点位置与所述掩模板的中心保持一致。

5.根据权利要求1所述的测量掩模板保护膜的工具及方法，其特征在于，所述两直角卡槽垂直安装在所述测量工具上，对两垂直卡槽的间距进行调节，使得两垂直卡槽与底座板相固定，进而将测量工具固定在底座板上。