[发明专利]非离子表面活性剂及其制备方法及用途、光刻胶显影液

权利要求书

1.一种非离子表面活性剂，其特征在于，所述非离子表面活性剂为具有结构式1的物质；

结构式1：

在结构式1中：

R1代表氢、烷基、烷氧基、芳香基或卤素，R2代表氢、烷基、烷氧基、芳香基或卤素；

n1为5至20的整数；

n2为4至15的整数；

m1为5至23的整数；

m2为4至18的整数。

2.根据权利要求1所述的非离子表面活性剂，其特征在于，所述n1为5，所述n2为9，所述m1为10，所述m2为7。

3.根据权利要求1所述的非离子表面活性剂，其特征在于，所述n1为10，所述n2为15，所述m1为20，所述m2为15。

4.一种非离子表面活性剂的制备方法，其特征在于，包括：

向四氢呋喃中加入2-溴丙基对苯酚、正丁基锂和三甲氧基硼，进行反应以得到第一生成物；

向四氢呋喃中加入所述第一生成物、苯基溴代乙烯醚、三苯基磷钯、八水合氢氧化钡和甲醇，进行反应以得到所述非离子表面活性剂。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述向四氢呋喃中加入2-溴丙基对苯酚、正丁基锂和三甲氧基硼，进行反应以得到第一生成物包括：

将2-溴丙基对苯酚溶解在四氢呋喃中；

向所述溶解有2-溴丙基对苯酚的四氢呋喃中加入正丁基锂；

向所述溶解有2-溴丙基对苯酚并加入正丁基锂的四氢呋喃中加入三甲氧基硼，进行反应以得到第一生成物；

所述向四氢呋喃中加入所述第一生成物、苯基溴代乙烯醚、三苯基磷钯、八水合氢氧化钡和甲醇，进行反应以得到所述非离子表面活性剂包括：

将所述第一生成物和苯基溴代乙烯醚溶解在四氢呋喃中；

向所述溶解有所述第一生成物和苯基溴代乙烯醚的四氢呋喃中加入三苯基磷钯、八水合氢氧化钡和甲醇，进行反应以得到所述非离子表面活性剂。

6.一种光刻胶显影液，包括碱性物质和去离子水，其特征在于，所述光刻胶显影液还包括至少一种权利要求1至3中任一项所述的非离子表面活性剂。

7.根据权利要求6所述的光刻胶显影液，其特征在于，在所述光刻胶显影液中，所述碱性物质与所述去离子水的质量比为1∶10000至1∶100，所述非离子表面活性剂与所述去离子水的质量比为1∶200至2∶25。

8.根据权利要求7所述的光刻胶显影液，其特征在于，在所述光刻胶显影液中，所述碱性物质与所述去离子水的质量比为1∶10000至1∶200，所述非离子表面活性剂与所述去离子水的质量比为1∶200至3∶50。

9.根据权利要求8所述的光刻胶显影液，其特征在于，所述光刻胶显影液中，所述碱性物质与所述去离子水的质量比为3∶1000，所述非离子表面活性剂与所述去离子水的质量比为1∶40。

10.根据权利要求8所述的光刻胶显影液，其特征在于，所述光刻胶显影液中，所述碱性物质与所述去离子水的质量比为3∶1000，所述非离子表面活性剂与所述去离子水的质量比为3∶100。

11.上述权利要求1至3中任意一项所述的非离子表面活性剂用于光刻胶显影液中的用途。