[发明专利]有机发光显示器及其制造方法有效
申请号: | 201110263950.X | 申请日: | 2011-09-02 |
公开(公告)号: | CN102593145A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 柳春基;崔埈厚 | 申请(专利权)人: | 三星移动显示器株式会社 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示器 及其 制造 方法 | ||
优先权要求
本申请要求于2011年1月10日在韩国知识产权局提交的、第10-2011-0002349号申请的全部权益,该申请通过引用并入本文。
技术领域
本发明涉及有机发光显示器及其制造方法,更具体地,涉及具有较好图像质量和装置可靠性的有机发光显示器,以及制造该有机发光显示器的方法。
背景技术
有机发光显示器是通过电激发有机化合物发射光的自发光显示器。作为下一代显示器,有机发光显示器由于其低驱动电压、薄设计、宽视角、以及快速响应时间而备受关注。
有机发光显示器包括在阳极电极和阴极电极之间的有机发光层。来自阳极电极的空穴与来自阴极电极的电子在有机发光层中结合以形成激子,该激子是空穴-电子对,并且有机发光层通过激子从激发态返回至基态所产生的能量而发光。通常,根据光发射的表面,有机发光显示器分为底部发射式有机发光显示器和顶部发射式有机发光显示器。在底部发射式有机发光显示器中,图像是朝向其上形成有有机发光装置的衬底实现的。在顶部发射式有机发光显示器中,图像是远离衬底实现的。
当面板越来越需要变得更大并且提供更高的图像质量时,为了再现接近原物的颜色,需要增加色彩再现性。作为增加色彩再现性的一种方式,采用了各种谐振结构来提高光耦合效率。
当底部发射式有机发光显示器采用谐振结构时,为了增加谐振效率,置于栅电极下方的栅极绝缘膜或者缓冲层可以形成为多层。但是,在这种情况下会对装置可靠性产生不利影响。
发明内容
本发明提供了具有较好图像质量和装置可靠性的有机发光显示器。
本发明还提供了制造具有较好图像质量和装置可靠性的有机发光显示器的方法。
然而,本发明不局限于本文所公开的特定的实施方式。通过参考以下给出的本发明的详细的描述,本发明的以上各方面以及其它方面将对本发明相关领域技术人员变得更加清晰。
根据本发明的一个方面,有机发光显示器包括:栅电极,形成于衬底上;层间绝缘膜,形成于所述衬底上,并覆盖所述栅电极;以及透明电极,形成于所述层间绝缘膜上;其中所述层间绝缘膜包括具有不同的折射率的多个层。
根据本发明的另一方面,有机发光显示器包括:缓冲层,形成于衬底的整个表面上;有源层,形成于所述缓冲层上,并包括沟道区域以及源区域和漏区域;栅极绝缘膜,形成于所述有源层上;栅电极,形成于所述栅极绝缘膜上,并且与所述沟道区域交叠;层间绝缘膜,形成于所述栅极绝缘膜上,并且覆盖所述栅电极;以及透明电极,形成于所述层间绝缘膜上;其中所述层间绝缘膜包括具有不同的折射率的多个层。
根据本发明的又一方面,制造有机发光显示器的方法包括:在衬底上形成有源层,所述有源层包括沟道区域以及源区域和漏区域;在所述衬底上形成栅电极,所述栅电极与所述有源层的所述沟道区域交叠;通过在所述栅电极上层叠具有不同的折射率的多个层,形成层间绝缘膜;以及通过在所述层间绝缘膜上层叠透明传导膜并对所述透明传导膜进行构图,形成透明电极。
根据本发明的又一方面,制造有机发光显示器的方法包括:在衬底上形成有源层,所述有源层包括沟道区域以及源区域和漏区域;在所述衬底和所述有源层上形成栅极绝缘膜;在所述栅极绝缘膜上形成栅电极,从而与所述有源层的所述沟道区域交叠;在所述栅电极上通过层叠具有不同的折射率的多个层形成层间绝缘膜;在所述层间绝缘膜上形成用于透明电极的传导膜;通过蚀刻所述层间绝缘膜和所述用于透明电极的传导膜,形成暴露所述源区域和所述漏区域的接触孔;以及通过在所述用于透明电极的传导膜上层叠填充所述接触孔的、用于源电极和漏电极的传导膜,并通过对所述用于透明电极的传导膜以及所述用于源电极和漏电极的传导膜进行构图,从而形成所述透明电极以及所述源电极和所述漏电极。
附图说明
通过参考以下结合附图所给出的详细描述,将能够更完整地理解本发明,并且本发明的优点将变得更加显而易见,在附图中相同的参考标记指示相同或类似的部件,其中:
图1是根据本发明一个示例性实施方式的有机发光显示器的剖视图;
图2是根据本发明另一示例性实施方式的有机发光显示器的剖视图;
图3是根据本发明又一示例性实施方式的有机发光显示器的剖视图;
图4是根据本发明又一示例性实施方式的有机发光显示器的剖视图;
图5至26是相继示出了根据本发明的示例性实施方式的制造有机发光显示器的方法的过程的剖视图;以及
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的