[发明专利]输送装置、处理系统以及输送装置的控制方法

权利要求书

1.一种输送装置，其用于对输送体进行输送，其特征在于，

其包括：

支承构件，其能够前进后退，用于支承上述输送体；

传感器，其用于在上述支承构件前进时、对上述支承构件的顶端接触到障碍物的情况进行检测；

上述传感器包括：

第1导电环，其以接地的状态设在上述支承构件的顶端，并具有挠性；

第2导电环，其以与上述第1导电环分开的方式设在上述第1导电环的内侧；

检测器，其用于在上述第1导电环与上述障碍物接触而变形并接触到上述第2导电环时、对上述第1导电环与上述第2导电环短路的情况进行检测。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

上述第2导电环具有挠性。

3.根据权利要求1或2所述的输送装置，其特征在于，

在上述第2导电环的上部设有朝向外侧延伸的电接触端子；

该输送装置还包括：

基座，其具有凸部，该基座被安装在上述支承构件的顶端；

绝缘性保持构件，其用于以使上述第1导电环与上述第2导电环彼此绝缘的状态、并且使上述第1导电环与上述第2导电环彼此分开的状态对上述第1导电环与上述第2导电环进行保持；

检测端子，其一端连接于上述检测器；

上述第1导电环以及上述第2导电环以这样的状态安装在上述支承构件的顶端：用上述基座的凸部与上述绝缘性保持构件夹住上述第1导电环的侧面的一部分，将上述电接触端子放在上述绝缘性保持构件的上表面上，并且使上述第2导电环的侧面与绝缘性保持构件抵接；

上述检测端子的另一端与上述电接触端子抵接。

4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

上述支承构件被接地，并且上述基座具有导电性。

5.根据权利要求3或4所述的输送装置，其特征在于，

上述检测器对上述检测端子的一端的电位的变化进行检测，并对上述第1导电环与上述第2导电环短路的情况进行检测。

6.一种处理系统，其包括：

共用输送室；

处理室，其与上述共用输送室连接，用于对被处理体实施处理；

输送装置，其配置在上述共用输送室中，用于对上述被处理体进行输送；

该处理系统的特征在于，

上述输送装置使用权利要求1至5中的任意一项所述的输送装置。

7.根据权利要求6所述的处理系统，其特征在于，

上述处理室以及上述输送室构成为能够使内部处于减压状态的气密容器。

8.根据权利要求6或7所述的处理系统，其特征在于，

上述处理室用于对上述被处理体进行热处理。

9.一种输送装置的控制方法，其是用于对上述输送体进行输送的输送装置的控制方法，该输送装置包括：能够前进后退并用于支承输送体的支承构件、用于在上述支承构件前进时对上述支承构件的顶端接触到障碍物的情况进行检测的传感器，该输送装置的控制方法的特征在于，其包括以下步骤：

使上述支承构件以第1速度朝向规定的位置前进；

在被设定在上述规定的位置跟前的、用于对上述障碍物的有无进行确认的确认区间，使上述支承构件以比上述第1速度慢的第2速度朝向上述规定的位置前进；

通过上述确认区间之后，使上述支承构件以比上述第2速度快的第3速度朝向上述规定的位置前进。

10.根据权利要求9所述的输送装置的控制方法，其特征在于，

上述传感器使用权利要求1至5中的任意一项所述的传感器。