[发明专利]光刻机的支撑结构及其制造方法

权利要求书

1.一种光刻机的支撑结构，包括外围板，其特征是，所述外围板包括：

第一面；

第二面，连接于所述第一面；

所述第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边；

所述折弯边具有折弯槽，所述第一面与所述第二面在所述折弯槽处折弯，形成夹角；

所述第一面和第二面均由多块板材通过焊接连接而成。

2.根据权利要求1所述的光刻机的支撑结构，其特征是，其中所述第一面和所述第二面具有厚度，所述折弯槽的深度为所述厚度的1/2～2/3。

3.根据权利要求1所述的光刻机的支撑结构，其特征是，所述外围板还包括：

补焊区，位于所述折弯槽处，用于增加所述折弯边的强度。

4.根据权利要求1所述的光刻机的支撑结构，其特征是，还包括多个肋板，放置于所述外围板的容置空间中，用以支撑所述外围板。

5.根据权利要求4所述的光刻机的支撑结构，其特征是，所述多个肋板包括：

多个X向肋板；以及

多个Y向肋板，与所述X向肋板正交。

6.根据权利要求4所述的光刻机的支撑结构，其特征是，所述肋板为波浪形。

7.一种光刻机的支撑结构的制造方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤1：板材落料并对板材预加工，留有折弯槽：

步骤2：对板材进行折弯加工；

步骤3：将折弯后的板材进行焊接形成外围板。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征是，所述折弯槽的深度为所述板材厚度的1/2～2/3。

9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征是，还包括：

在所述折弯槽处进行补焊，以增加所述折弯边的强度。

10.根据权利要求7所述的制造方法，其特征是，还包括：

放置多个肋板于所述外围板的容置空间中，用以支撑所述外围板。

11.根据权利要求10所述的制造方法，其特征是，所述多个肋板包括：

多个X向肋板；以及

多个Y向肋板，与所述X向肋板正交。

12.根据权利要求10所述的制造方法，其特征是，压制所述肋板为波浪形。