[发明专利]光刻机的支撑结构及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种支撑结构，且特别涉及一种折弯式板材代替部分焊接结构的支撑结构，一种支撑结构的制作方法也一并涉及。

背景技术

殷钢合金(Invar)是光刻机主基板和测量支架的常用材料。它是一种低热膨胀合金，成分为含Ni36％的铁镍合金，在230℃以下(低至-253℃)具有极低的热膨胀系数。由于其塑性良好，性能稳定，低传热性，主要用于制造在环境温度变化范围内尺寸高度精确的零部件和在常温附近要求尺寸恒定的、膨胀系数极低的精密仪器仪表零件、谐振腔零件，也包括随温度变化刻度漂移很小的测量仪器、无线电频率元件、光学镜头支架及钟表摆轮装置等。

通常光刻机主基板和测量支架均采用殷钢焊接工艺，以焊接作为结构的连接方式。然而，殷钢合金在较大温度范围内都保持着单相奥氏体结构，具有低热膨胀系数，在某些性能上也和奥氏体不锈钢相近，因此主要焊接方法采用的是钨极电弧惰性气体保护焊(TIG)和金属焊丝惰性气体保护焊(MIG)。在焊接过程中，热量很难从熔池扩散出去，周围材料持续保持高温，将导致大量的晶粒粗化，破坏组织结构。另外，在殷钢合金的焊接过程中由于不均匀温度场的存在，导致焊件不均匀的膨胀和收缩，从而使焊件内部产生焊接应力。

发明内容

本发明提出一种光刻机的支撑结构及其制造方法，能够解决上述问题。

为了达到上述目的，本发明提出一种光刻机的支撑结构，包括外围板，外围板包括：

第一面；

第二面，连接于第一面；

所述第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边；

折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角；

第一面和第二面均有多块板材通过焊接连接而成。

进一步说，其中第一面和第二面具有一厚度，折弯槽的深度为厚度的1/2～2/3。

进一步说，外围板还包括：

补焊区，位于折弯槽处，用于增加折弯边的强度。

进一步说，还包括多个肋板，放置于外围板的容置空间中，用以支撑外围板。

进一步说，多个肋板包括：

多个X向肋板；以及

多个Y向肋板，与X向肋板正交。

进一步说，肋板为波浪形。

本发明还提出一种光刻机的支撑结构的制造方法，包括以下步骤：

步骤1：板材落料并对板材预加工，留有折弯槽：

步骤2：对板材进行折弯加工；

步骤3：将折弯后的板材进行焊接形成外围板。

进一步说，折弯槽的深度为厚度的1/2～2/3。

进一步说，制造方法还包括：

在折弯槽处进行补焊，以增加折弯边的强度。

进一步说，制造方法还包括：

放置多个肋板于外围板的容置空间中，用以支撑外围板。

进一步说，多个肋板包括：

多个X向肋板；以及

多个Y向肋板，与X向肋板正交。

进一步说，压制肋板为波浪形。

本发明采用折弯板材来代替部分焊接结构，这种方式将更适合多面体较复杂的几何外形的支撑结构，改善了制造工艺，缩短焊接制造周期。

同时，本发明增加肋板的截面积，不仅提高了支撑结构的结构刚度，还能够减少肋板的使用量，减轻支撑结构的质量，降低成本。

附图说明

图1所示为本发明较佳实施例光刻机的支撑结构的结构示意图。

图2a～2c所示为本发明较佳实施例光刻机的支撑结构制作过程中折弯边的剖面图。

图3a～3c所示为图2a～2c的仰视图。

图4a～4c所示分别为本发明另一实施例光刻机的支撑结构制作过程中折弯槽的剖面图。

图5a～5c所示分别为图4a～4c的仰视图。

图6所示为本发明较佳实施例的光刻机的支撑结构的透视图。

图7所示为本发明较佳实施例的肋板的结构示意图。

图8所示为本发明另一实施例的肋板的结构示意图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

请参看图1，图1所示为本发明较佳实施例光刻机的支撑结构的结构示意图。

支撑结构包括外围板10，至少包括第一面11和第二面12，第一面11连接于第二面12。当然，如图1中所示的，外围板10还包括其他面，本实施例为了方便说明，不再进行标号和说明。本领域技术人员可以根据需要改变外围板3的形状。